[實(shí)用新型]一種具有濾波功能的MEMS光開(kāi)關(guān)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922435683.4
• 申請(qǐng)日: 2019-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211061729U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龔磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢嘉迅光電有限公司
• 主分類號(hào): G02B6/35
• 分類號(hào): G02B6/35;G02B6/293
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 徐瑛

1.一種具有濾波功能的MEMS光開(kāi)關(guān)，其特征在于，沿光路傳輸方向依次包括：輸入光纖、準(zhǔn)直透鏡、波長(zhǎng)調(diào)諧元件、MEMS微鏡和輸出光纖；所述輸出光纖為二維光纖陣列；所述準(zhǔn)直透鏡用于將發(fā)散的光信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫械墓庑盘?hào)，或?qū)⑵叫械墓庑盘?hào)轉(zhuǎn)變?yōu)榫酆系墓庑盘?hào)；所述波長(zhǎng)調(diào)諧元件用于將多波長(zhǎng)光信號(hào)轉(zhuǎn)化為單波長(zhǎng)光信號(hào)；所述MEMS微鏡用于將光信號(hào)切換至不同的輸出光纖。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有濾波功能的MEMS光開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述輸入光纖和輸出光纖位于準(zhǔn)直透鏡的同側(cè)，所述輸入光纖/輸出光纖與MEMS微鏡位于準(zhǔn)直透鏡的異側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有濾波功能的MEMS光開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述波長(zhǎng)調(diào)諧元件包括2個(gè)壓電陶瓷和2個(gè)透光板，所述2個(gè)壓電陶瓷設(shè)在2個(gè)透光板之間；所述2個(gè)透光板內(nèi)壁均鍍有部分第一反射膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有濾波功能的MEMS光開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述壓電陶瓷與透光板之間通過(guò)膠粘接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有濾波功能的MEMS光開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述波長(zhǎng)調(diào)諧元件包括光波導(dǎo)區(qū)和液晶陣列，所述液晶陣列均勻布置在光波導(dǎo)區(qū)內(nèi)；所述光波導(dǎo)區(qū)的入射端和出射端均鍍有部分第二反射膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有濾波功能的MEMS光開(kāi)關(guān)，其特征在于，所述MEMS微鏡包括反射鏡和微型步進(jìn)電機(jī)，所述微型步進(jìn)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)反射鏡旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)的角度。