[實用新型]MOCVD石墨盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922435562.X
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN211771539U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設計）人: 付羿;周名兵
• 申請（專利權）人: 晶能光電（江西）有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MOCVD石墨盤，其特征在于，包括：盤體及分布于所述盤體表面用于放置外延襯底的多個石墨卡槽，所述多個石墨卡槽于所述盤體上分布為內圈和外圈；在外圈的每個石墨卡槽中，于MOCVD石墨盤旋轉時離心力所在方向沿石墨卡槽邊緣卡持外延襯底處開設有一槽口，內部固定一個與該槽口大小匹配的低導熱系數(shù)高機械強度墊片。

2.如權利要求1所述的MOCVD石墨盤，其特征在于，在內圈的每個石墨卡槽中，于MOCVD石墨盤旋轉時離心力所在方向沿石墨卡槽邊緣卡持外延襯底處開設有一槽口，內部固定一與該槽口大小匹配的低導熱系數(shù)高機械強度墊片。

3.如權利要求1或2所述的MOCVD石墨盤，其特征在于，所述槽口弧度占石墨卡槽邊緣的5％～20％，沿石墨卡槽半徑方向上的厚度為1mm～20mm，高度與石墨卡槽的深度相同。

4.如權利要求1或2所述的MOCVD石墨盤，其特征在于，所述墊片的導熱系數(shù)小于75W/(m·K)，機械強度中彎曲強度大于170MPa，楊氏模量大于320GPa。

5.如權利要求1或2所述的MOCVD石墨盤，其特征在于，所述墊片為AlN陶瓷墊片。