[實用新型]一種成膜厚度與成膜速率的監(jiān)測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922426927.2
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN211848126U
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 毛文斌;陳志寬
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波盧米藍新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 鞏克棟

1.一種成膜厚度與成膜速率的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述成膜厚度與成膜速率的監(jiān)測裝置包括2-5個晶振探頭以及用于遮擋所述晶振探頭的檔板；

所述檔板在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下實現(xiàn)對所述晶振探頭的暴露和/或遮擋；

所述驅(qū)動裝置包括步進電機、步進電機驅(qū)動器以及可編程邏輯控制器；

所述步進電機的驅(qū)動軸與檔板連接以驅(qū)動檔板旋轉(zhuǎn)；

所述步進電機由步進電機驅(qū)動器與可編程邏輯控制器的控制下帶動驅(qū)動軸轉(zhuǎn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜厚度與成膜速率的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述成膜厚度與成膜速率的檢測裝置包括2個晶振探頭。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜厚度與成膜速率的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述步進電機設(shè)置于保護罩中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜厚度與成膜速率的監(jiān)測裝置，其特征在于，所述檔板為心形板；

所述心形板的尖端與驅(qū)動軸連接，心形板在驅(qū)動軸的帶動下實現(xiàn)對所述晶振探頭的暴露和/或遮擋。