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[實用新型]一種可精確控制大流量液體蒸發的多通道汽化裝置有效

專利信息
申請號: 201922424576.1 申請日: 2019-12-30
公開(公告)號: CN211289993U 公開(公告)日: 2020-08-18
發明(設計)人: 張竹君;張浩;沈曉健 申請(專利權)人: 蘇州孚然德實驗設備有限公司
主分類號: F22B1/28 分類號: F22B1/28;F22B35/00;F22B37/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 215122 江蘇省蘇州市蘇州工業*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 精確 控制 流量 液體 蒸發 通道 汽化 裝置
【權利要求書】:

1.一種可精確控制大流量液體蒸發的多通道汽化裝置,其特征在于,包括液體罐(1)、單通道恒流泵(2)、汽化器(3),單通道恒流泵(2)的進口通過管道連接液體罐(1),且單通道恒流泵(2)的出口通過管道連接汽化器(3),汽化器(3)采用高導熱性6061鋁合金材質制作,汽化器(3)上安裝有PID溫控器(4),汽化器(3)的一端設置有出氣管(5);

汽化器(3)為三通道汽化器,內部設有三個進液口(32),每個所述的進液口(32)均對應設置有一個加熱管(31),多個進液口(32)的端部連通有蒸汽出口(33),汽化器(3)內部中間位置安裝有熱電偶(34)。

2.根據權利要求1所述的一種可精確控制大流量液體蒸發的多通道汽化裝置,其特征在于,所述汽化器(3)采用雙通道結構,具有兩個進液口(32)以及與進液口(32)對應的加熱管(31)。

3.根據權利要求1所述的一種可精確控制大流量液體蒸發的多通道汽化裝置,其特征在于,所述液體罐(1)與汽化器(3)之間采用三通道恒流泵(6)。

4.根據權利要求1或3所述的一種可精確控制大流量液體蒸發的多通道汽化裝置,其特征在于,所述單通道恒流泵(2)和三通道恒流泵(6)均采用精度高脈沖小的實驗室恒流泵。

5.根據權利要求1所述的一種可精確控制大流量液體蒸發的多通道汽化裝置,其特征在于,所述PID溫控器(4)溫差為±0.1℃。

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