[實用新型]基片轉移裝置

有效

• 申請號: 201922404232.4
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN211541265U
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 金超;董洪波;付文磊;劉凱;張向飛
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: B25J15/06
• 分類號: B25J15/06;B65G47/91
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種基片轉移裝置，其特征在于，包括：

機械手，所述機械手上設置有旋風吸盤；以及，

主氣路以及設置在所述主氣路上的壓力調整單元，所述主氣路的一端連接壓縮氣源，另一端連接所述機械手，所述壓力調整單元根據一電信號對導入的壓縮氣體進行比例調整后再傳輸至所述機械手。

2.如權利要求1所述的基片轉移裝置，其特征在于，所述機械手為伯努利機械手。

3.如權利要求1所述的基片轉移裝置，其特征在于，所述壓力調整單元包括比例調壓閥。

4.如權利要求1所述的基片轉移裝置，其特征在于，所述基片轉移裝置還包括：

主開關閥，設置在所述主氣路上，所述主開關閥具有第一進氣端、第二進氣端和排氣端，所述主開關閥的排氣端同時與所述第一進氣端和所述第二進氣端中的一個連通，所述第一進氣端與所述壓力調整單元的排氣端連接，所述主開關閥的排氣端與所述機械手連接。

5.如權利要求4所述的基片轉移裝置，其特征在于，所述主開關閥為單控電磁閥。

6.如權利要求4或5所述的基片轉移裝置，其特征在于，所述基片轉移裝置還包括：

備用氣路，所述備用氣路的一端連接所述壓縮氣源，另一端連接所述主開關閥的第二進氣端；以及，

設置在所述備用氣路上的減壓閥和備用開關閥，所述減壓閥的進氣端連接所述壓縮氣源，所述減壓閥的排氣端將經過減壓的壓縮氣體排出，所述備用開關閥的進氣端和排氣端分別連接所述減壓閥的排氣端和所述主開關閥的第二進氣端。

7.如權利要求6所述的基片轉移裝置，其特征在于，所述備用開關閥為兩位五通電磁閥。

8.如權利要求6所述的基片轉移裝置，其特征在于，所述基片轉移裝置包括并接在所述壓縮氣源和所述主開關閥的第二進氣端之間的兩條以上的所述備用氣路，各條所述備用氣路上的減壓閥的設定壓力不同。

9.如權利要求6所述的基片轉移裝置，其特征在于，各條所述備用氣路上的備用開關閥均為關閉狀態或者僅其中一個為打開狀態。

10.如權利要求6所述的基片轉移裝置，其特征在于，所述基片轉移裝置包括第一備用氣路和第二備用氣路，所述第一備用氣路上的減壓閥的設定氣壓為大氣壓，所述第二備用氣路上的減壓閥的設定氣壓為0.1MPa～0.4MPa。