[實用新型]一種鋨、釕吸收裝置

有效

• 申請號: 201922401309.2
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN211339643U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 王永超
• 申請（專利權）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號: C22B11/00
• 分類號: C22B11/00;C22B3/02
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 邊延松

1.一種鋨、釕吸收裝置，包括吸收箱（1），其特征在于，所述吸收箱（1）內通過隔板分隔成第一吸收腔、第二吸收腔和第三吸收腔，所述第一吸收腔、第二吸收腔和第三吸收腔并列設置，且第二吸收腔固定設置在第三吸收腔上側壁，所述第一吸收腔固定設置在第一吸收腔上側壁，所述第一吸收腔內設置有蛇形管（2），所述蛇形管（2）內設置有吸收液，所述吸收箱（1）側壁上端固定設置有與蛇形管（2）自由端連通的初級進氣管（3），所述第三吸收腔內通過擋板分隔成第一儲液腔、第二儲液腔和第三儲液腔，所述第一儲液腔、第二儲液腔和第三儲液腔并排設置，所述第二儲液腔設置在第一儲液腔和第三儲液腔之間，所述第一儲液腔、第二儲液腔和第三儲液腔同樣設置有吸收液，所述蛇形管（2）末端通過二級進氣管（4）與第一儲液腔連通，所述二級進氣管（4）末端連接有第一氣體分布器（5），每個所述擋板上側壁均固定連通有折彎通氣管（6），每個所述折彎通氣管（6）下端均伸入到吸收液內，且每個折彎通氣管（6）下端均連接有對應的第二氣體分布器（7），所述第二吸收腔內設置有填充箱（9），所述填充箱（9）內設置有填充料（10），所述填充箱（9）側壁固定連通有尾氣排放管（11），所述尾氣排放管（11）向外貫穿吸收箱（1）側壁設置，所述第三儲液腔與填充箱（9）內腔之間通過三級進氣管（8）連通。

2.根據權利要求1所述的一種鋨、釕吸收裝置，其特征在于,所述填充箱（9）內通過橫板分隔成填料腔和噴淋腔，所述噴淋腔位于填充腔上方，所述橫板下側壁固定設置有多組均勻分布的噴嘴（13），每個所述噴嘴（13）均與噴淋腔連通，所述三級進氣管（8）上端開口處的高度與填充腔下側內壁水平設置，所述噴淋腔與第三儲液腔之間通過噴淋管連通，所述蛇形管（2）與第一儲液腔之間通過第二循環管（15）連通，所述吸收箱（1）側壁下端設置有與第一循環管（12）和第二循環管（15）匹配的循環泵（14），所述第一循環管（12）和第二循環管（15）遠離噴淋腔和蛇形管（2）的一端均設置有對應的截止閥，所述第二循環管（15）遠離第一儲液腔的一端設置有單向閥（16）。

3.根據權利要求1所述的一種鋨、釕吸收裝置，其特征在于，每個所述折彎通氣管（6）均設置成L型，且折彎通氣管（6）上端開口處的高度始終高于吸收液的高度。

4.根據權利要求1所述的一種鋨、釕吸收裝置，其特征在于，所述三級進氣管（8）下端開口處設置有匹配的吸氣罩。

5.根據權利要求1所述的一種鋨、釕吸收裝置，其特征在于，所述吸收箱（1）側壁棱角處倒圓角，且吸收箱（1）四角包裹有一層質地柔軟且厚度均勻的軟質海綿。