[實用新型]一種防靜電監測系統

有效

• 申請號: 201922395117.5
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN212083638U
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 石巍;王繼東
• 申請（專利權）人: 江蘇長電科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/58
• 分類號: G01R31/58;G01R31/52;G01R31/54
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 趙海波

本實用新型涉及一種防靜電監測系統，它包括第一線路(1)、第二線路(2)和接地線路(3)，所述第一線路(1)上設置有切割電機(4)和第一電阻R1，所述第二線路(2)上設置有切割平臺(5)和第二電阻R2，所述接地線路(3)上設置有接地電阻R，所述第一線路(1)和第二線路(2)相互并聯后與接地線路(3)相串聯。本實用新型能夠對半導體切割設備的防靜電接地線路實現實時監控，一旦發生開路、短路等異常故障，可立即通知操作人員及時處理，避免造成設備在失去防靜電接地系統的保護下繼續生產，對產品質量造成不良影響。

技術領域

本實用新型涉及一種防靜電監測系統，主要用于集成電路產品切割加工的自動生產設備，屬于半導體封裝設備技術領域。

背景技術

切割設備是集成電路產品分離工序的主流加工設備，集成電路產品被固定在加工平臺上，高速旋轉的刀具通過進刀、走刀對產品進行切割加工。在加工過程中電子純水不斷被噴射到刀具和產品的加工面上，用以降溫和帶走碎屑。由于水分子本身分解產生的OH－及H+。在純水和固體的界面上，選擇性吸附固體表面純水中的OH離子，H+在純水中擴散形成電雙層，之后去除純水時，界面上產生電荷分離，純水帶+電，固體表面帶-電，水的純度越高帶電量越大。理論上來說，純水的導電率在25℃下為5.48μS/m，比造成流動帶電的絕緣性液體的導電率還大5～6位。因此，純水的流動帶電問題不大。但是，隨著近年來半導體元件的超高聚集化，對清洗過程中使用的純水純度要求更加嚴格，半導體產品由于純水帶電，從而影響到產品成品率的現象也成為一個問題。

為消除靜電荷的積累對產品造成的風險，目前廠內在道具和平臺上都設置了防靜電接地線路，串接了一定阻值的電阻，使得靜電敏感的產品在加工過程中得到可靠的保護。但考慮到設備運行過程中可能會產生一些非常隱蔽的故障，如切割的金屬殘留物掉落與金屬平臺與機架間形成對地短路，使得電阻的作用失效而使產品失去保護。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對上述現有技術提供一種防靜電監測系統，它能夠對半導體切割設備的防靜電接地線路實現實時監控，一旦發生開路、短路等異常故障，可立即通知操作人員及時處理，避免造成設備在失去防靜電接地系統的保護下繼續生產，對產品質量造成不良影響。

本實用新型解決上述問題所采用的技術方案為：一種防靜電監測系統，它包括第一線路、第二線路和接地線路，所述第一線路上設置有切割電機和第一電阻R1，所述第二線路上設置有切割平臺和第二電阻R2，所述接地線路上設置有接地電阻R，所述第一線路和第二線路相互并聯后與接地線路相串聯，所述監測系統還包括監測器，所述監測器通過第三線路與第一線路相連接，所述監測器通過第四線路與第二線路相連接，所述監測器通過第五線路與接地線路相連接。

優選的，所述第三線路連接至切割電機與第一電阻R1之間。

優選的，所述第四線路連接至切割平臺與第二電阻R2之間。

優選的，所述第五線路連接至第一線路和第二線路并聯位置處。

優選的，所述接地電阻R的電阻阻值為33KΩ。

優選的，所述第一電阻R1和第二電阻R2的電阻阻值為150KΩ。

優選的，所述監測器與設備主機相連接。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：

本實用新型一種防靜電監測系統，它能夠對半導體切割設備的防靜電接地線路實現實時監控，一旦發生開路、短路等異常故障，可立即通知操作人員及時處理，避免造成設備在失去防靜電接地系統的保護下繼續生產，對產品質量造成不良影響。

附圖說明

圖1為本實用新型一種防靜電監測系統的結構示意圖。

圖2為防靜電接地線路正常狀態的示意圖。