[實用新型]一種加熱絲支撐座

有效

• 申請號: 201922390298.2
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN211406324U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 岳彩玉;黎靜
• 申請（專利權）人: 江蘇實為半導體科技有限公司
• 主分類號: H05B3/46
• 分類號: H05B3/46
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 陸志斌

本實用新型公開了一種加熱絲支撐座，包括底座；在底座頂部兩側的側壁上設有滑動槽，底座的底部還設有兩排內嵌孔，底座的底部中心設有固定孔；在內嵌孔上對稱的安裝第一彈簧和第二彈簧所述第一彈簧和第二彈簧的一端設在底座一側的滑動槽內，所述第一彈簧和第二彈簧的另一端卡在底座另一側的內嵌孔內。有益效果：通過特殊形狀且對稱設置的彈簧，讓變形的加熱絲始終被彈簧拉扯，防止加熱絲逃逸，避免加熱絲因為變形而出現短路等情況的發生。

技術領域

本實用新型涉及半導體加工領域，具體涉及一種加熱絲支撐座。

背景技術

芯片加工設備中的加熱絲在使用長久后，容易出現變形，例如：上翹或下榻等。變形后的加熱絲與腔體內其他金屬件接觸會發生短路燒融情況，外圈加熱絲需要更換或者維修。

目前將加熱絲固定的方式大多是：將加熱絲直接放在鎢絲支撐架上，這樣的好處可以實現讓加熱狀態的加熱絲局部熱量散失的較快，但是，這種方案的缺陷是當加熱絲形變后墊塊無法正常支撐。對此，亟需解決加熱絲加熱變形后，加熱絲形變的問題。

實用新型內容

為了解決陶瓷支撐座在加熱絲形變后不能起到很好支撐的問題，本實用新型提供一種加熱絲支撐座。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下的技術方案：

一種加熱絲支撐座，包括材質是陶瓷且形狀為H形的底座；在底座頂部兩側的側壁上設有多個U形的滑動槽，底座的底部中心設有固定孔，底座的底部還對稱的設有兩排內嵌孔；在內嵌孔上對稱的可拆卸安裝第一彈簧和第二彈簧；所述第一彈簧和第二彈簧的形狀為“Z”形；所述第一彈簧和第二彈簧的一端設在底座一側的滑動槽內，所述第一彈簧和第二彈簧的另一端卡在底座另一側的內嵌孔內；所述底座“H”形狀的底部是兩端貫穿的散熱槽。

進一步地，在第一彈簧和第二彈簧圍成的U形區域內卡著加熱絲；在加熱絲下部的底座兩側設有散熱孔。

進一步地，所述滑動槽頂部的側邊設有倒斜角。

與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：通過特殊形狀且對稱設置的的彈簧，讓變形的加熱絲始終被彈簧拉扯，防止加熱絲逃逸，避免加熱絲因為變形而出現短路等情況的發生。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為加熱絲安裝在本實用新型內的結構示意圖。

圖中，1底座、11固定孔、12內嵌孔、13滑動槽、14散熱槽、15散熱孔、2第一彈簧、3第二彈簧、4加熱絲。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。

如圖1和圖2所示，將加熱絲安裝后，為了防止加熱絲之間由于變形而出現短路情況的發生，將本實用新型中公開的一種加熱絲支撐座安裝在陶瓷板上。其中，本實用新型包括：材質是陶瓷且形狀為H形的底座1；如圖1所示，在底座1頂部兩側的側壁上設有多個U形的滑動槽13，底座1的底部還對稱的設有兩排內嵌孔12，底座1的底部中心設有固定孔11，通過固定孔11固定在設備上。內嵌孔12和滑動槽13互相配合可以安裝形狀為“Z”形的第一彈簧2和第二彈簧3；其中第一彈簧2和第二彈簧3可拆卸的對稱安裝在內嵌孔12上。如圖1所示，所述第一彈簧2和第二彈簧3的一端設在底座1一側的滑動槽13內，所述第一彈簧2和第二彈簧3的另一端卡在底座1另一側的內嵌孔12內。在第一彈簧2和第二彈簧3圍成的U形區域內卡著加熱絲4。如圖2所示，將加熱絲4安裝在第一彈簧2和第二彈簧3。當加熱絲4開始變形時，第一彈簧2和第二彈簧3由于一端固定在內嵌孔12上，保持固定，另一端可以相對滑動槽13上下滑動可以防止單側翹起彈出，為了防止第一彈簧2和第二彈簧3彈出后不能順利回到滑動槽13內，進一步地，所述滑動槽13頂部的側邊設有倒斜角。。為了防止加熱絲4熱量過多，容易變形，需要在底座1“H”形狀的底部是兩端貫穿的散熱槽14；同時，在加熱絲4下部的底座1兩側設有散熱孔15。