[實用新型]一種電注入裝置

有效

• 申請號: 201922388901.3
• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN210778646U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 張達奇;吳堅;蔣方丹
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種電注入裝置，包括殼體(1)和電注入部，所述殼體(1)內具有工藝腔(10)，所述電注入部能向容置于所述工藝腔(10)內的硅片通電，其特征在于，所述電注入裝置還包括：

輔助加熱結構(2)，設置于所述工藝腔(10)內，所述輔助加熱結構(2)與備用電源電性連接，以在通電時加熱所述硅片；及

測溫組件(3)，設置于所述工藝腔(10)內，所述測溫組件(3)用于測量所述硅片的溫度，并與所述備用電源電性連接。

2.根據權利要求1所述的電注入裝置，其特征在于，所述輔助加熱結構(2)包括紅外加熱燈管。

3.根據權利要求2所述的電注入裝置，其特征在于，所述紅外加熱燈管的延伸方向平行于所述硅片的傳輸方向，所述紅外加熱燈管的長度與所述硅片邊長的差值為±5cm。

4.根據權利要求2所述的電注入裝置，其特征在于，所述紅外加熱燈管的延伸方向垂直于所述硅片的傳輸方向，所述紅外加熱燈管的長度與所述硅片的疊層高度的差值為±5cm。

5.根據權利要求2所述的電注入裝置，其特征在于，所述紅外加熱燈管的數量為兩個以上，各個所述紅外加熱燈管平行設置。

6.根據權利要求1所述的電注入裝置，其特征在于，所述電注入裝置還包括控制器，所述控制器與所述電注入部、所述輔助加熱結構(2)、所述測溫組件(3)及所述備用電源電性連接。

7.根據權利要求1-6任一項所述的電注入裝置，其特征在于，所述殼體(1)包括上下相對的頂壁(11)和底壁(12)，以及連接在所述頂壁(11)和所述底壁(12)的側部且相對設置的兩個側壁(13)；

所述電注入裝置還包括連接于所述頂壁(11)和所述底壁(12)的端部、用于封閉所述殼體(1)以形成所述工藝腔(10)的門體(4)；

所述輔助加熱結構(2)設置于所述頂壁(11)、所述底壁(12)或所述側壁(13)內側。

8.根據權利要求7所述的電注入裝置，其特征在于，所述輔助加熱結構(2)對稱地設置于兩所述側壁(13)內側，且與容置于所述工藝腔(10)內的所述硅片的位置對應。

9.根據權利要求7所述的電注入裝置，其特征在于，所述門體(4)與所述殼體(1)滑動連接或鉸接。

10.根據權利要求1-6任一項所述的電注入裝置，其特征在于，還包括傳輸機構，所述傳輸機構用于向所述工藝腔(10)內輸送硅片。