[實(shí)用新型]一種單晶爐的水冷熱屏結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922388746.5
• 申請(qǐng)日: 2019-12-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211522367U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵化水;張會(huì)現(xiàn);洪東旭;李志強(qiáng);邊恒軍;劉啟鐸;王營(yíng)濤
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 杞縣東磁新能源有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B15/00
• 分類(lèi)號(hào): C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京力量專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11504
• 代理人: 何東明

本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種單晶爐的水冷熱屏結(jié)構(gòu)，包括水冷熱屏本體，所述水冷熱屏本體的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)屏。該單晶爐的水冷熱屏結(jié)構(gòu)，通過(guò)設(shè)置水冷熱屏本體，水冷熱屏本體通過(guò)水道內(nèi)的循環(huán)冷卻水快速將水冷熱屏本體內(nèi)壁上的熱量帶走，形成一個(gè)熱量快速散發(fā)的通道，能夠更好地創(chuàng)造一個(gè)對(duì)結(jié)晶有利的溫度空間，從而加快晶棒的結(jié)晶速度，縮短晶棒的生長(zhǎng)時(shí)間，提高拉晶效率，通過(guò)設(shè)置熱熔板和導(dǎo)熱板，可增加水冷熱屏本體內(nèi)部的降溫速度，因熱熔板和導(dǎo)熱板分別為鋁板和銅板，鋁板和銅板的降溫和吸熱效果較好，可增加該結(jié)構(gòu)的冷卻速度，使得結(jié)晶的生產(chǎn)速度更高，該結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)效率也會(huì)更高，成本也會(huì)有一定的下降。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單晶爐的水冷熱屏結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過(guò)程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料，單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽(yáng)能的主要功能材料，單晶爐用水冷熱屏結(jié)構(gòu)的作用如下：在單晶硅拉制過(guò)程中，通過(guò)水冷熱屏結(jié)構(gòu)加快晶棒的冷卻速度，從而提高拉速，從而降低單晶硅的成本。

目前的單晶生長(zhǎng)爐一般采用直筒型水冷套冷卻方式，主要還是通過(guò)水冷這一途徑進(jìn)行冷卻，其缺點(diǎn)是單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)熱輻射散發(fā)到水冷套內(nèi)壁的熱量有限，而且不能充分利用氬氣將熱量帶走，使得水冷熱屏的效率不夠高，故而提出一種單晶爐的水冷熱屏結(jié)構(gòu)來(lái)解決上述所提出的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問(wèn)題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種單晶爐的水冷熱屏結(jié)構(gòu)，具備冷卻效率高等優(yōu)點(diǎn)，解決了目前的單晶生長(zhǎng)爐一般采用直筒型水冷套冷卻方式，主要還是通過(guò)水冷這一途徑進(jìn)行冷卻，其缺點(diǎn)是單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)熱輻射散發(fā)到水冷套內(nèi)壁的熱量有限，而且不能充分利用氬氣將熱量帶走，使得水冷熱屏的效率不夠高的問(wèn)題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述冷卻效率高的目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種單晶爐的水冷熱屏結(jié)構(gòu)，包括水冷熱屏本體，所述水冷熱屏本體的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)屏，水冷熱屏本體的外部設(shè)置有外屏，所述水冷熱屏本體的內(nèi)壁固定安裝有固定環(huán)，固定環(huán)的頂部固定安裝有與內(nèi)屏固定連接的熱熔板，固定環(huán)的頂部固定安裝有與熱熔板固定連接的導(dǎo)熱板，所述水冷熱屏本體的頂部外側(cè)固定安裝有連接體，連接體的頂部左側(cè)活動(dòng)安裝有進(jìn)水管，連接體的頂部右側(cè)固定安裝有出水管，連接體的底部左右兩側(cè)均活動(dòng)安裝有貫穿連接體且分別延伸至進(jìn)水管和出水管內(nèi)部的安裝螺栓，所述連接體的內(nèi)部固定安裝有與水冷熱屏本體固定連接的支撐管。

優(yōu)選的，所述水冷熱屏本體為高純不銹鋼，所述安裝螺栓與進(jìn)水管均和出水管螺紋連接。

優(yōu)選的，所述水冷熱屏本體與連接體之間為焊接，所述水冷熱屏本體、熱熔板與導(dǎo)熱板的內(nèi)壁均設(shè)置有吸熱涂層。

優(yōu)選的，所述熱熔板為鋁板，且導(dǎo)熱板為銅板，所述熱熔板與導(dǎo)熱板均為環(huán)形板。

優(yōu)選的，所述熱熔板與導(dǎo)熱板的厚度相同，且熱熔板與導(dǎo)熱板的厚度均在零點(diǎn)二毫米到二毫米之間。

優(yōu)選的，所述支撐管的數(shù)量不少于兩個(gè)，且支撐管呈傾斜安裝。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種單晶爐的水冷熱屏結(jié)構(gòu)，具備以下有益效果：