[實用新型]獲得半導體晶粒相對兩面光學檢測完全等照度照明的裝置

有效

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• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN211741108U
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設計）人: 廖廷俤;顏少彬;李世展
• 申請（專利權）人: 泉州師范學院
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01;G02B13/22;G03B15/02
• 代理公司: 福州元創(chuàng)專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 林捷;蔡學俊

1.一種獲得半導體晶粒相對兩面光學檢測完全等照度照明的裝置，其特征在于：包括在光路方向上依次設置的相機、遠心成像鏡頭、轉像光學組件和半導體晶粒，所述半導體晶粒由透明載物臺支撐，半導體晶粒的天面和底面與遠心成像鏡頭的光軸平行，所述轉像光學組件與半導體晶粒之間的上、下兩側分別設有棱鏡組件，兩個棱鏡組件遠離遠心成像鏡頭光軸的一側分別設有獨立可調控的第一、第二照明光源，第一、第二照明光源分別經過其中一個棱鏡組件為半導體晶粒的天面和底面照明，同時半導體晶粒的天面和底面分別通過棱鏡組件、轉像光學組件以完全相同的成像光路經270度轉像后，成像在相機傳感器面上不同的區(qū)域位置。

2.一種獲得半導體晶粒相對兩面光學檢測完全等照度照明的裝置，其特征在于：包括在光路方向上依次設置的相機、遠心成像鏡頭、轉像光學組件和半導體晶粒，所述半導體晶粒由透明載物臺支撐，半導體晶粒的天面和底面與遠心成像鏡頭的光軸垂直，所述轉像光學組件與半導體晶粒之間的兩旁側分別設有棱鏡組件，兩個棱鏡組件遠離遠心成像鏡頭光軸的一側分別設有獨立可調控的第一、第二照明光源，第一、第二照明光源分別經過其中一個棱鏡組件為半導體晶粒的一個側面照明，同時半導體晶粒的兩相對側面分別通過棱鏡組件、轉像光學組件以完全相同的成像光路經270度轉像后，成像在相機傳感器面上不同的區(qū)域位置。

3.根據權利要求1或2所述獲得半導體晶粒相對兩面光學檢測完全等照度照明的裝置，其特征在于：所述轉像光學組件包括兩個第一直角轉像棱鏡，兩個第一直角轉像棱鏡的一直角邊垂直于遠心成像鏡頭的光軸且朝向相機，兩個第一直角轉像棱鏡的另一直角邊相背且遠離遠心成像鏡頭的光軸。

4.根據權利要求1或2所述獲得半導體晶粒相對兩面光學檢測完全等照度照明的裝置，其特征在于：所述棱鏡組件的每個均包括一個第二直角轉像棱鏡和斜面貼合于第二直角轉像棱鏡一直角邊的直角棱鏡分束器，第二直角轉像棱鏡的斜面平行于光軸且相對其直角邊更加靠近光軸，直角棱鏡分束器的斜面上鍍有半透半反射的第一分光膜，照明光源正對半導體晶粒的待檢面，且直角棱鏡分束器的一直角邊垂直于照明光源的光線。

5.根據權利要求1或2所述獲得半導體晶粒相對兩面光學檢測完全等照度照明的裝置，其特征在于：所述棱鏡組件的每個均包括一個第三直角轉像棱鏡和一個面貼合于第三直角轉像棱鏡一個直角邊的立方棱鏡分束器，第三直角轉像棱鏡的斜面與光軸形成45度夾角，立方棱鏡分束器的斜面上鍍有半透半反射的第二分光膜，照明光源正對半導體晶粒的待測面，第二分光膜與光軸、照明光源的光線也形成45度夾角。

6.根據權利要求1或2所述獲得半導體晶粒相對兩面光學檢測完全等照度照明的裝置，其特征在于：所述棱鏡組件的每個均包括一個第四直角轉像棱鏡和斜面靠近于第四直角轉像棱鏡一直角邊的直角照明棱鏡，第四直角轉像棱鏡的斜面平行于光軸且相對其直角邊更加靠近光軸，照明光源經過直角照明棱鏡、第四直角轉像棱鏡折射斜照于半導體晶粒的待測面。

7.根據權利要求1或2所述獲得半導體晶粒相對兩面光學檢測完全等照度照明的裝置，其特征在于：所述相機為含CCD或CMOS傳感器的相機。

8.根據權利要求1或2所述獲得半導體晶粒相對兩面光學檢測完全等照度照明的裝置，其特征在于：所述透明載物臺為透明玻璃載物臺。