[實用新型]一種用于二氧化碳激光器的激光反射鏡

有效

• 申請號: 201922382653.1
• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN211263834U
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 王金恒;王寧陽;唐友清
• 申請（專利權）人: 南京晨銳騰晶激光科技有限公司
• 主分類號: G02B5/08
• 分類號: G02B5/08;G02B1/10;H01S3/034
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 李德濺

本實用新型公開了一種用于二氧化碳激光器的激光反射鏡，該激光反射鏡包括鏡片基材（1）、過渡層（2）和鍍膜層（3），鍍膜層（3）由依序設置在過渡層（2）上的采用氟化鐿制成的第一鍍膜層（31）、采用硒化鋅制成的第二鍍膜層（32）、采用氟化鐿制成的第三鍍膜層（33）、采用硒化鋅制成的第四鍍膜層（34）、采用氟化鐿制成的第五鍍膜層（35）、采用硒化鋅制成的第六鍍膜層（36）構成，且鍍膜層（3）的總厚度為6930nm±90nm。本實用新型的光學膜層能提高激光反射鏡對波長9.3μm激光的反射率，實現波長9.3μm激光的起振和輸出；過渡層能提高鍍膜層與鏡片基材之間的粘結牢固度，防止鍍膜層脫落；且光學膜層更薄。

技術領域

本實用新型涉及光學鏡片技術領域，具體地說是一種膜層厚度較薄且不易脫落的用于二氧化碳激光器的激光反射鏡。

背景技術

射頻二氧化碳激光器諧振腔中一般是由激光輸出鏡和激光反射鏡構成一個激光振蕩系統，工作條件下激光增益介質在輸出鏡和反射鏡之間反復振蕩不斷放大，當激光功率達到輸出閾值后激光束就會穿透激光輸出鏡輸出到諧振腔外，成為適用于激光加工的激光束。一般二氧化碳激光器可以輸出四種波長的激光束，分別是9.3μm、9.6μm、10.2μm和10.6μm，為了保證激光應用的穩定性，一臺激光器只能輸出一種波長的激光束，現有技術中通常是利用激光輸出鏡來篩選單一波長的激光，這種激光輸出鏡需要鍍上較厚的光學膜層才能輸出波長9.3μm的激光，現有技術中的鏡片鍍膜層總厚度一般為51.6μm -52.4μm，但是在實際應用中當鏡片表面的光學膜層較厚時，通常都難以穩定的輸出擬篩選波長的激光束，主要原因有兩個方面，一是膜層太厚對激光的吸收和散射增加，導致激光損耗增加，激光輸出功率下降；二是較厚的膜層在實際應用中也容易開裂或脫落，難以長期穩定的保證激光輸出質量。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術存在的問題，提供一種膜層厚度較薄且不易脫落的用于二氧化碳激光器的激光反射鏡，該激光反射鏡的鏡片對波長9.3μm激光具有更高反射率，用于二氧化碳激光諧振腔振后，能夠篩選出波長9.3μm的激光，從而促進諧振腔振蕩輸出9.3μm激光。

本實用新型的目的是通過以下技術方案解決的：

一種用于二氧化碳激光器的激光反射鏡，其特征在于：該激光反射鏡包括鏡片基材、過渡層和鍍膜層，鍍膜層由依序設置在過渡層上的第一鍍膜層、第二鍍膜層、第三鍍膜層、第四鍍膜層、第五鍍膜層、第六鍍膜層構成，其中第一鍍膜層采用氟化鐿制成、第二鍍膜層采用硒化鋅制成、第三鍍膜層采用氟化鐿制成、第四鍍膜層采用硒化鋅制成、第五鍍膜層采用氟化鐿制成、第六鍍膜層采用硒化鋅制成，且鍍膜層的總厚度為6930nm±90nm。

所述第一鍍膜層的厚度為1520nm±20nm、第二鍍膜層的厚度為790nm±10nm、第三鍍膜層的厚度為1520nm±20nm、第四鍍膜層的厚度為790nm±10nm、第五鍍膜層的厚度為1520nm±20nm、第六鍍膜層的厚度為790nm±10nm。

所述的過渡層由依序設置在鏡片基材上的鍍鉻粘結層、鍍金反射層和硒化鋅粘結層構成。

所述鍍鉻粘結層的厚度為20nm±1nm，鍍金反射層的厚度為200nm±10nm，硒化鋅粘結層的厚度為80nm±5nm。

上述鏡片基材、過渡層和鍍膜層構成的激光反射鏡鏡片對波長9.3μm的激光反射率比該鏡片對波長10.6μm的激光反射率高1.6%以上。

上述鏡片基材、過渡層和鍍膜層構成的激光反射鏡鏡片對波長9.3μm的激光反射率比該鏡片對波長10.2μm的激光反射率高1.2%以上。

上述鏡片基材、過渡層和鍍膜層構成的激光反射鏡鏡片對波長9.3μm的激光反射率不低于99.91%。

上述鏡片基材、過渡層和鍍膜層構成的激光反射鏡鏡片對波長9.6μm的激光反射率不超過99.80%。