[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體硅材料生長爐用電極及生長爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922371683.2
• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN211734533U
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李輝;穆童;鄭鍇;秦英謖;張熠
• 申請（專利權(quán)）人: 南京晶升能源設(shè)備有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/06
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 張弛

本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體硅材料生長爐用電極及生長爐，生長爐用電極包括銅電極、連接銅電極下方的石英套管、連接石英套管下方的陶瓷絕緣件、連接陶瓷絕緣件下方的氮化硼絕緣件、連接氮化硼絕緣件下方的石墨電極、連接石墨電極下方的加熱器連接螺釘；該生長爐用電極通過多層絕緣，使加熱器在移動過程中不會與隔熱層接觸，防止出現(xiàn)打火的情況。適用于需要升降在不同熱量部分的情況。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于硅晶體材料生長爐技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

石英陶瓷坩堝，全稱為高純?nèi)廴谑⑻沾邵釄?二氧化硅含量≥99.9％)。是以高純?nèi)廴谑樵献龀傻奶沾少|(zhì)坩堝。一般情況下，其形狀主要有方形和圓筒形。其中，方形的高純石英坩堝用在多晶硅鑄錠環(huán)節(jié)，充當(dāng)多晶硅化料和長晶的容器；圓形的高純石英坩堝則用在單晶硅中拉單晶的環(huán)節(jié)。高純?nèi)廴谑⒂捎诰哂薪Y(jié)構(gòu)精細(xì)、熱導(dǎo)率低、熱膨脹系數(shù)小、制成品尺寸精度高、高溫不變形、熱震穩(wěn)定性好、電性能好、耐化學(xué)侵蝕性好等特點(diǎn)，因此在玻璃深加工行業(yè)、冶金工業(yè)、電子工業(yè)、化工工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

有一種長晶過程是坩堝位置不變，通過不斷提升或下降加熱器進(jìn)行熱場內(nèi)加熱的均勻，但是如果與加熱器連接的電極也隨著加熱器升降，則電極的上方與下方的熱量是不同的，則需要提供新的電極以適配該種升降方式。

實(shí)用新型內(nèi)容

發(fā)明目的：本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體硅材料生長爐用電極及生長爐，解決如何提供一種隨著加熱器升降適應(yīng)不同熱量的電極的問題。

技術(shù)方案：為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型可采用如下技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體硅材料生長爐用電極，包括銅電極、連接銅電極下方的石英套管、連接石英套管下方的陶瓷絕緣件、連接陶瓷絕緣件下方的氮化硼絕緣件、連接氮化硼絕緣件下方的石墨電極、連接石墨電極下方的加熱器連接螺釘。

進(jìn)一步的，銅電極的上方連接有升降桿。

進(jìn)一步的，所述加熱器連接螺釘、氮化硼絕緣件、陶瓷絕緣件、石英套管、銅電極、石墨電極同軸設(shè)置。

而具有上述電極的生長爐可采用以下技術(shù)方案，包括保溫屏，位于保溫屏中的加熱器及坩堝，加熱器圍繞坩堝設(shè)置；其特征在于：所述加熱器與銅電極通過加熱器連接螺釘連接。

進(jìn)一步的，還設(shè)有升降電機(jī)，所述升降桿與升降電機(jī)連接。

有益效果：相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型技術(shù)方案的優(yōu)點(diǎn)為：

該生長爐用電極通過多層絕緣(氮化硼絕緣件、陶瓷絕緣件、石英套管)，使加熱器在移動過程中不會與隔熱層接觸，防止出現(xiàn)打火的情況。適用于需要升降在不同熱量部分的情況。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型中電極的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型中生長爐的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

請結(jié)合圖1所示，本實(shí)施例公開一種半導(dǎo)體硅材料生長爐用電極11，包括銅電極5、連接銅電極5下方的石英套管4、連接石英套管4下方的陶瓷絕緣件3、連接陶瓷絕緣件3下方的氮化硼絕緣件2、連接氮化硼絕緣件2下方的石墨電極6、連接石墨電極6下方的加熱器連接螺釘1。所述加熱器連接螺釘1、氮化硼絕緣件2、陶瓷絕緣件3、石英套管4、銅電極5、石墨電極6同軸設(shè)置。銅電極5的上方連接有升降桿7。

該電極11應(yīng)用在生長爐中。如圖2所示，生長爐包括保溫屏8，位于保溫屏8中的加熱器9及坩堝10。加熱器9圍繞坩堝10設(shè)置。所述加熱器9與銅電極5通過加熱器連接螺釘1連接。該生長爐用電極通過多層絕緣(氮化硼絕緣件2、陶瓷絕緣件3、石英套管4)，使加熱器在移動過程中不會與隔熱層接觸，防止出現(xiàn)打火的情況。生長爐設(shè)有升降電機(jī)(未圖示)，所述升降桿7與升降電機(jī)連接，升降電機(jī)帶動電極11上下移動，同時帶動加熱器9上下移動。