[實用新型]薄膜光波導

有效

• 申請號: 201922365439.5
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN211826601U
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 陳亦凡;黃萌
• 申請（專利權）人: 易銳光電科技（安徽）有限公司;蘇州易銳光電科技有限公司
• 主分類號: G02B6/10
• 分類號: G02B6/10
• 代理公司: 蘇州謹和知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32295
• 代理人: 唐靜芳

1.一種薄膜光波導，包括硅基襯底以及設置在所述硅基襯底上的包層，其特征在于，所述薄膜光波導還包括設置在所述硅基襯底上的光波導芯層，所述光波導芯層設于所述包層之中并且所述光波導芯層折射率高于所述包層的折射率，所述光波導芯層包括雙層光波導介質薄膜以及設置于所述雙層光波導介質薄膜之間的薄膜材料夾層，所述薄膜材料夾層為二維晶格亞波長結構，所述二維晶格亞波長結構的有效晶格常數和占空比在各個傳播方向上近似相同。

2.如權利要求1所述的薄膜光波導，其特征在于，所述二維晶格亞波長結構包括晶格點，所述有效晶格常數和所述占空比由所述晶格點的形狀以及長寬確定。

3.如權利要求2所述的薄膜光波導，其特征在于，所述晶格點為橢圓形、十字交叉形、六角形以及八角形中的一種。

4.如權利要求1所述的薄膜光波導，其特征在于，所述二維晶格亞波長結構為布拉維晶格結構或準晶格結構。

5.如權利要求4所述的薄膜光波導，其特征在于，所述布拉維晶格為包括正方形或六角形。

6.如權利要求4所述的薄膜光波導，其特征在于，所述準晶格結構為八邊形或十邊形或十二邊形。

7.如權利要求1所述的薄膜光波導，其特征在于，所述薄膜材料夾層為硅、鈮酸鋰、二氧化鈦、氧化鋅中的一種。