[實用新型]一種鍵合絲退火爐

有效

• 申請號: 201922362933.6
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN211170804U
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 王巖;高琪;林良;曲少娜;劉炳磊
• 申請（專利權）人: 煙臺一諾電子材料有限公司
• 主分類號: C21D9/573
• 分類號: C21D9/573;C21D1/26
• 代理公司: 煙臺上禾知識產權代理事務所(普通合伙) 37234
• 代理人: 高峰

本實用新型公開了一種鍵合絲退火爐，包括軸心處可通過鍵合絲的玻璃管以及設置在玻璃管之外的碳化硅管，玻璃管為套管，中間為夾層，夾層端部設有保護氣體入口，碳化硅管為環狀，不接觸地包覆在所述玻璃管之外，形成隔離腔，碳化硅管內設有環狀的降溫風道，降溫風道端部設有冷空氣入口，外側包覆有三組感應線圈，分別設置在碳化硅管的端部、中間和尾部，感應線圈均分別連接ZVS電源，感應線圈下的碳化硅管內設有熱電偶。本實用新型玻璃管和碳化硅管不接觸，二者之間的隔離腔可使溫度均勻分散，利于穩定退火，且便于更換石英玻璃管；在碳化硅管內設置降溫風道，需要降低使用溫度時，向其通入空氣即可降溫，無需長時間等待，提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及鍵合絲的生產，尤其涉及一種鍵合絲退火爐。

背景技術

鍵合絲的拉制屬于超微拉絲范疇，從毫米級棒材拉至微米級微絲變形量巨大，端面收縮為原始棒材的十幾萬分之一。如果不進行中間退火，拉絲到達一定程度后幾乎無法往下進行，所以半成品退火是必須的，拉至成品后，為了滿足使用要求，必須進行成品退火以獲得合適的機械性能。鍵合絲退火爐是拉制鍵合絲的必要設備，目前鍵合絲行業使用的常規在線退火爐存在以下問題：1)加熱源是陶瓷加熱片，熱效率低，能耗高；2)分區加熱且剛玉支撐管不導熱，造成整個爐內有效加熱長度內的溫度分布不均勻，影響在線退火效果；3)測溫熱電偶遠離石英玻璃管，測溫與實際管內溫度差別大；4)石英玻璃管貼靠于剛玉管下側，圓周加熱不均勻；5)剛玉管溫度極速升降容易炸裂；6)散熱困難，降溫時間長，造成等待浪費。

實用新型內容

本實用新型針對現有鍵合絲退火爐加熱不均勻，使用不穩定的缺點，提供一種鍵合絲退火爐。

本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下：一種鍵合絲退火爐，包括軸心處可通過鍵合絲的石英玻璃管以及設置在石英玻璃管之外的碳化硅管，其特征在于，所述石英玻璃管為套管，中間為夾層，夾層端部設有保護氣體入口，所述碳化硅管為環狀，不接觸地包覆在所述石英玻璃管之外，形成隔離腔，所述碳化硅管內設有環狀的降溫風道，所述降溫風道端部設有冷空氣入口，所述碳化硅管外側包覆有感應線圈，所述感應線圈為三組，分別設置在所述碳化硅管的端部、中間和尾部，每組所述感應線圈均分別連接ZVS電源，每組所述感應線圈下的所述碳化硅管內均設有熱電偶。

進一步，冷空氣入口設置在鍵合絲出口端。冷空氣流向和鍵合絲走向相反，利于快速降溫。

進一步，三個熱電偶均位于降溫風道以內。熱電偶設置在降溫風道以內獲得的溫度更接近玻璃管內的溫度。

更進一步，每個ZVS電源和每個熱電偶均與PLC電連接。加熱電源和熱電偶由PLC控制，能夠根據實際溫度實時調整輸出功率，使溫度更合理，利于鍵合絲的退火。

本實用新型的有益效果是：本實用新型玻璃管和碳化硅管不接觸，二者之間的隔離腔可使溫度均勻分散，利于穩定退火，且便于更換石英玻璃管；在碳化硅管內設置降溫風道，如果需要降低使用溫度，向其通入空氣即可迅速降溫，無需長時間等待，提高生產效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；圖2為A-A處的切面圖；各部分分別為：

1、石英玻璃管，1-1、夾層，1-2、保護氣體入口，2、碳化硅管，2-1、降溫風道，2-2、冷空氣入口，3、隔離腔，4、感應線圈，5、熱電偶。

具體實施方式

以下結合實例對本實用新型進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。

實施例1