[實用新型]一種掩模工藝烘烤用托盤及夾具裝置

有效

• 申請號: 201922361963.5
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN211653390U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 朱磊;顧夢星;楊東海
• 申請（專利權）人: 無錫中微掩模電子有限公司
• 主分類號: G03F1/68
• 分類號: G03F1/68
• 代理公司: 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330
• 代理人: 谷金穎

1.一種掩模工藝烘烤用托盤及夾具裝置，包括托盤(1)和夾具(4)，其特征在于：所述托盤(1)的形狀為方形，且托盤(1)的四個側面均開設有圓孔(3)，所述托盤(1)的內部為掩模版(2)，所述夾具(4)的前端設置有卡扣(6)，且夾具(4)的底部設置有導桿(7)，該導桿(7)的數量為兩組，所述夾具(4)的下端設置有把手(5)，且把手(5)通過連接件(8)與卡扣(6)固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種掩模工藝烘烤用托盤及夾具裝置，其特征在于：所述掩模版(2)的尺寸為15.24cm*15.24cm和12.7cm*12.7cm，且掩模版(2)通過不同角度放入托盤(1)內部。

3.根據權利要求1所述的一種掩模工藝烘烤用托盤及夾具裝置，其特征在于：所述夾具(4)通過導桿(7)插入圓孔(3)內和卡扣(6)卡緊托盤(1)內測邊緣進行固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種掩模工藝烘烤用托盤及夾具裝置，其特征在于：所述卡扣(6)通過把手(5)對托盤(1)進行卡合動作。

5.根據權利要求1所述的一種掩模工藝烘烤用托盤及夾具裝置，其特征在于：所述托盤(1)可兼容5寸或6寸掩模版(2)。