[實用新型]一種超高速分時加工裝置

有效

• 申請號: 201922360982.6
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN211661330U
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 王雪輝;馮新康
• 申請（專利權）人: 武漢華工激光工程有限責任公司
• 主分類號: B23K26/067
• 分類號: B23K26/067
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 徐瑛

1.一種超高速分時加工裝置，其特征在于，沿激光傳輸路徑依次包括：

激光器光源，用于輸出激光束；

脈沖選擇器，用于對激光束的單個脈沖進行選擇并使其光路發生偏轉，得到兩路光脈沖；

激光反射鏡，所述激光反射鏡設有兩個，兩個所述激光反射鏡分別用于改變兩路光脈沖的傳輸路徑；

振鏡和場鏡，所述振鏡和場鏡分別設有兩個，兩個所述振鏡分別用于改變兩路激光束的加工路徑；兩個所述場鏡分別用于將兩路激光束聚焦到兩個待加工樣品表面進行加工；

所述加工裝置還包括：

功率計，用于實時監測兩路光脈沖的光功率；

驅動器，所述驅動器與脈沖選擇器連接，用于驅動脈沖選擇器進行工作；

控制器，所述控制器分別與驅動器、功率計、激光器、振鏡連接，用于控制激光器工作，實時獲取功率計的監測數據，控制驅動器的參數設置，以及控制振鏡調整激光加工路徑；

所述激光器光源輸出的激光束經過脈沖選擇器后發生偏轉，通過控制脈沖選擇器的開關狀態得到兩路激光脈沖，兩路激光脈沖分別經過兩個激光反射鏡反射后，再分別經過兩個振鏡、兩個場鏡到達兩個待加工樣品表面進行加工。

2.根據權利要求1所述的一種超高速分時加工裝置，其特征在于，所述脈沖選擇器為聲光偏轉器。

3.根據權利要求1所述的一種超高速分時加工裝置，其特征在于，所述功率計設有兩個，分別設在兩個激光反射鏡的背面。

4.根據權利要求1所述的一種超高速分時加工裝置，其特征在于，所述驅動器為射頻驅動器，通過設置所述射頻驅動器完成一次開關動作的頻率，調整兩路激光脈沖的頻率或功率之比。

5.根據權利要求1所述的一種超高速分時加工裝置，其特征在于，所述振鏡包括擺動電機和反射鏡，所述擺動電機通過驅動反射鏡擺動來改變激光束的加工路徑。

6.根據權利要求1所述的一種超高速分時加工裝置，其特征在于，所述場鏡為聚焦透鏡，用于將激光束聚焦在待加工樣品表面。