[實用新型]一種用于高真空鍍膜機的冷卻裝置

有效

• 申請號: 201922354327.X
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN211367704U
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 顏見鋒
• 申請（專利權）人: 蘇州市唯嘉光學有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 趙瑞鵬

本實用新型公開了一種用于高真空鍍膜機的冷卻裝置，涉及鍍膜機冷卻技術領域，包括風冷式熱交換器、水箱、水泵和輸水管道，所述水箱的第一出口通過輸水管道與風冷式熱交換器入口連接，所述風冷式熱交換器出口通過輸水管道與所述水箱的第一入口連接；所述水箱的第二出口通過輸水管道與所述水泵入口連接，所述水泵出口通過輸水管道與高真空鍍膜機冷卻系統入口連接，高真空鍍膜機冷卻系統出口通過輸水管道與所述水箱第二入口連接；本實用新型通過引入風冷式熱交換器，大幅降低了高真空鍍膜機冷卻裝置的能耗，節約能源。

技術領域

本實用新型涉及鍍膜機冷卻技術領域，特別涉及一種用于高真空鍍膜機的冷卻裝置。

背景技術

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等很多種。

高真空鍍膜機還可用于光學薄膜的生產，真空鍍膜機運行中冷卻水是必不可少的，高真空泵(尤其是擴散泵)、真空室、電子槍等部件均需要用冷卻水來冷卻。現有技術中，真空鍍膜機的冷卻系統存在較高的能耗，造成了極大的能源浪費。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種用于高真空鍍膜機的冷卻裝置，在提升冷卻效率的同時，節約能源，降低鍍膜機的運行成本。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案如下：

本實用新型提供一種用于高真空鍍膜機的冷卻裝置，包括風冷式熱交換器、水箱、水泵和輸水管道，所述水箱的第一出口通過輸水管道與風冷式熱交換器入口連接，所述風冷式熱交換器出口通過輸水管道與所述水箱的第一入口連接；所述水箱的第二出口通過輸水管道與所述水泵入口連接，所述水泵出口通過輸水管道與高真空鍍膜機冷卻系統入口連接，高真空鍍膜機冷卻系統出口通過輸水管道與所述水箱第二入口連接。

上述方案的進一步地方案為，所述水箱為保溫水箱。

上述方案的進一步地方案為，所述水箱為雙層不銹鋼保溫水箱。

上述方案的進一步地方案為，所述風冷式熱交換器的功率為10匹。

上述方案的進一步地方案為，所述水泵為高壓水泵，所述高壓水泵的功率為1.5KW。

上述方案的進一步地方案為，所述水泵數量為2臺。

與現有技術相比，本實用新型提供的技術方案具有如下優點和有益效果：本實用新型提供一種用于高真空鍍膜機的冷卻裝置，包括風冷式熱交換器、水箱、水泵和輸水管道，所述水箱的第一出口通過輸水管道與風冷式熱交換器入口連接，所述風冷式熱交換器出口通過輸水管道與所述水箱的第一入口連接；所述水箱的第二出口通過輸水管道與所述水泵入口連接，所述水泵出口通過輸水管道與高真空鍍膜機冷卻系統入口連接，高真空鍍膜機冷卻系統出口通過輸水管道與所述水箱第二入口連接；本實用新型通過引入風冷式熱交換器，大幅降低了高真空鍍膜機冷卻裝置的能耗，節約能源。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為實施例中用于高真空鍍膜機的冷卻裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。