[實用新型]一種超聲電化學復合的晶片清洗裝置

有效

• 申請號: 201922354159.4
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN210956618U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 高雅欣;潘繼生;閻秋生
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 王錦霞

1.一種超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，包括殼體(1)、晶片裝夾組件(2)、電化學清洗組件(3)、超聲組件(4)以及驅動晶片裝夾組件(2)轉動的驅動組件(5)，所述晶片裝夾組件(2)與驅動組件(5)連接，晶片裝夾組件(2)包括用于放置晶片的片槽(21)以及安裝于片槽(21)兩端的轉軸(22)，所述片槽(21)懸空置于殼體(1)內，所述轉軸(22)與殼體(1)轉動連接；所述電化學清洗組件(3)包括陰極(31)和陽極(32)，所述陰極(31)和陽極(32)分別設于所述片槽(21)的兩側；所述超聲組件(4)設于晶片裝夾組件(2)的下方。

2.根據權利要求1所述的超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，所述晶片裝夾組件(2)還包括連接旋板(23)，所述連接旋板(23)與轉軸(22)連接，多組片槽(21)中心對稱分布、且多組片槽(21)均通過卡扣組件(6)與連接旋板(23)卡接。

3.根據權利要求2所述的超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，所述片槽(21)內設有卡槽(24)，所述卡扣組件(6)安裝于片槽(21)，所述連接旋板(23)設有與所述卡扣組件(6)卡接的勾部(25)。

4.根據權利要求3所述的超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，所述卡扣組件(6)包括拉環(61)、彈簧(62)及卡板(63)，所述拉環(61)的一端連接有拉桿(64)，所述卡板(63)設有容拉桿(64)穿過的通孔，所述拉桿(64)的一端穿過通孔連接有卡塊(65)，所述彈簧(62)套于拉桿(64)的外周、且所述彈簧(62)設于卡塊(65)與卡板(63)之間。

5.根據權利要求2所述的超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，所述片槽(21)開設有若干弧形凹槽(26)，待清洗晶片裝夾于弧形凹槽(26)中。

6.根據權利要求2至5任一項所述的超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，所述驅動組件(5)包括驅動電機(51)、傳動帶(52)以及帶輪(53)，所述驅動電機(51)安裝于殼體(1)，所述帶輪(53)安裝于轉軸(22)，所述傳動帶(52)連接于驅動電機(51)和帶輪(53)之間；所述殼體(1)設有軸承端蓋(11)，所述轉軸(22)與軸承端蓋(11)連接。

7.根據權利要求1所述的超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，所述電化學清洗組件(3)還包括空氣管道(33)及氣體供應器(34)，所述空氣管道(33)與氣體供應器(34)連接，所述空氣管道(33)連接于陰極(31)。

8.根據權利要求7所述的超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，所述陽極(32)為網狀結構，所述陰極(31)為中空管狀結構。

9.根據權利要求1所述的超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，所述殼體(1)內置有分隔板(12)，所述分隔板(12)將殼體(1)內部空間分隔為清洗艙(13)和底艙(14)，所述清洗艙(13)的底部設有孔塞(15)。

10.根據權利要求9所述的超聲電化學復合的晶片清洗裝置，其特征在于，所述超聲組件(4)包括超聲發生器(41)及超聲換能器(42)，所述超聲換能器(42)與超聲發生器(41)電連接、且所述超聲換能器(42)安裝于底艙(14)。