[實(shí)用新型]帶有減震圈的電磁透鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922352531.8
• 申請(qǐng)日: 2019-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN210805693U
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李傳林;陸廣烈;李自立;姚莉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州優(yōu)波光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/141
• 分類號(hào): H01J37/141
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 張培柳

本實(shí)用新型涉及一種帶有減震圈的電磁透鏡，包括；磁軛，包括底板、與底板相對(duì)間隔設(shè)置的頂板、以及連接底板和頂板的外筒；底板設(shè)有第一通孔，底板的內(nèi)壁上設(shè)置有連通第一通孔的第一內(nèi)筒；頂板上設(shè)有第二通孔，頂板的內(nèi)壁上設(shè)置有連通第二通孔的第二內(nèi)筒，且第二內(nèi)筒與第一內(nèi)筒相對(duì)間隔設(shè)置；線圈，設(shè)于外筒內(nèi)并套設(shè)在第一內(nèi)筒及第二內(nèi)筒上，線圈的底部與底板緊貼，線圈的頂部與頂板具有間隙；減震圈，設(shè)置在間隙中并套設(shè)在第二內(nèi)筒上；且減震圈緊貼線圈及頂板設(shè)置。通過在線圈與頂板之間形成的間隙中設(shè)置減震圈，有效防止電磁透鏡在工作中由于磁場(chǎng)的作用會(huì)使線圈與磁軛之間產(chǎn)生輕微的震動(dòng)，有效保證掃描電子顯微鏡的成像質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種帶有減震圈的電磁透鏡。

背景技術(shù)

電子波和光波不同，不能通過玻璃透鏡會(huì)聚成像。但是軸對(duì)稱的非均勻電場(chǎng)和磁場(chǎng)則可以讓電子束折射，從而產(chǎn)生電子束的會(huì)聚與發(fā)散，達(dá)到成像的目的。人們把用靜電場(chǎng)構(gòu)成的透鏡稱之靜電透鏡。把電磁線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)所構(gòu)成的透鏡稱之電磁透鏡。對(duì)于電磁透鏡，通常是通過改變激勵(lì)線圈中的電流來改變電磁透鏡的聚焦特性。

在掃描電子顯微鏡中，傳統(tǒng)電磁透鏡的磁軛與線圈之間沒有固定連接，只是將線圈裝在磁軛內(nèi)，但是線圈整體大小很難控制在公差范圍內(nèi)，所以線圈裝在磁軛內(nèi)就會(huì)有間隙，導(dǎo)致電磁透鏡在工作中由于磁場(chǎng)的作用會(huì)使線圈與磁軛之間產(chǎn)生輕微的震動(dòng)，容易影響掃描電子顯微鏡的成像質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對(duì)目前傳統(tǒng)技術(shù)的問題，提供一種帶有減震圈的電磁透鏡。

一種帶有減震圈的電磁透鏡，包括；

磁軛，包括底板、與所述底板相對(duì)間隔設(shè)置的頂板、以及連接所述底板和所述頂板的外筒；所述底板設(shè)有第一通孔，所述底板的內(nèi)壁上設(shè)置有連通所述第一通孔的第一內(nèi)筒；所述頂板上設(shè)有第二通孔，所述頂板的內(nèi)壁上設(shè)置有連通所述第二通孔的第二內(nèi)筒，且所述第二內(nèi)筒與所述第一內(nèi)筒相對(duì)間隔設(shè)置；

線圈，設(shè)于所述外筒內(nèi)并套設(shè)在所述第一內(nèi)筒及所述第二內(nèi)筒上，所述線圈的底部與所述底板緊貼，所述線圈的頂部與所述頂板具有間隙；

減震圈，設(shè)置在所述間隙中并套設(shè)在所述第二內(nèi)筒上；且所述減震圈緊貼所述線圈及所述頂板設(shè)置。

上述電磁透鏡，通過在線圈與頂板之間形成的間隙中設(shè)置減震圈，且減震圈緊貼線圈及頂板設(shè)置，確保減震圈與磁軛的頂板之間具有很好的減震效果，有效防止電磁透鏡在工作中由于磁場(chǎng)的作用會(huì)使線圈與磁軛之間產(chǎn)生輕微的震動(dòng)，有效保證掃描電子顯微鏡的成像質(zhì)量。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述減震圈為彈性密封圈。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述外筒的外壁上設(shè)有環(huán)形槽。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括電源線，所述電源線的一端穿過所述外筒與所述線圈連接。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述外筒靠近所述底板的一端設(shè)有插孔，所述電源線的一端穿過所述插孔與所述線圈連接。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述底板的外壁上設(shè)置有多個(gè)墊塊。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一內(nèi)筒與所述第二內(nèi)筒同軸心設(shè)置。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二內(nèi)筒的長(zhǎng)度大于所述第一內(nèi)筒的長(zhǎng)度。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一內(nèi)筒與所述底板一體成型制成；所述第二內(nèi)筒與所述頂板一體成型制成。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述外筒與所述頂板一體成型設(shè)置。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的一實(shí)施方式的帶有減震圈的電磁透鏡的剖視圖。

附圖中各標(biāo)號(hào)的含義為：