[實(shí)用新型]一種MEMS紅外探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922336101.7
• 申請(qǐng)日: 2019-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN211013253U
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張琛琛;毛海央;陳大鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新中心有限公司
• 主分類號(hào): G01J5/00
• 分類號(hào): G01J5/00;G01V13/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 李博洋

本實(shí)用新型提供一種MEMS紅外探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間測(cè)量裝置，該裝置包括：輻射光源生成模塊，用于產(chǎn)生輻射光源；脈沖激光生成模塊，用于根據(jù)輻射光源產(chǎn)生功率可調(diào)的脈沖激光，并輸入到MEMS紅外探測(cè)器；測(cè)量模塊，用于測(cè)得MEMS紅外探測(cè)器在脈沖激光不同功率下的第一電壓值和第二電壓值；響應(yīng)時(shí)間分析處理模塊，用于根據(jù)第一電壓值及第二電壓值測(cè)量MEMS紅外探測(cè)器的響應(yīng)時(shí)間。通過實(shí)施本實(shí)用新型，克服了傳統(tǒng)MEMS紅外探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間測(cè)試中斬波器葉片遮擋?鏤空比例不易調(diào)節(jié)、葉片轉(zhuǎn)動(dòng)的頻率難與探測(cè)器匹配、葉片轉(zhuǎn)動(dòng)耗時(shí)長(zhǎng)以及采樣點(diǎn)時(shí)間間隔較大的問題，且激光脈沖信號(hào)的測(cè)試誤差在ns級(jí)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)MEMS紅外探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間的準(zhǔn)確測(cè)試。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及紅外探測(cè)器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種MEMS紅外探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間測(cè)量裝置。

背景技術(shù)

微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System，簡(jiǎn)稱MEMS)紅外探測(cè)器以紅外成像為核心，它通過把紅外輻射轉(zhuǎn)換成其它可測(cè)量物理信號(hào)，并對(duì)該物理信號(hào)做相應(yīng)的模擬或數(shù)字信號(hào)處理，從而得到可供人類視覺分辨的圖像。發(fā)展至今，紅外探測(cè)技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于軍事、醫(yī)療、農(nóng)業(yè)、安防等多個(gè)領(lǐng)域，響應(yīng)時(shí)間作為紅外探測(cè)器的一個(gè)重要物理量，對(duì)紅外探測(cè)器的性能具有很大的影響。

傳統(tǒng)的MEMS紅外探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間的測(cè)量需要基于黑體輻射源、斬波器、水冷裝置等設(shè)備搭建一套復(fù)雜的測(cè)量系統(tǒng)，然而斬波器的遮擋區(qū)域和透光區(qū)域具有一定的面積，其按某頻率工作時(shí)會(huì)消耗一定的時(shí)間，而測(cè)試所得的器件響應(yīng)時(shí)間無法排除斬波器的工作耗時(shí)，導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果存在較大誤差。

實(shí)用新型內(nèi)容

因此，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)定MEMS紅外探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間無法排除斬波器的工作耗時(shí)的缺陷，從而提供一種MEMS紅外探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間測(cè)量裝置。

為此，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

根據(jù)第一方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種MEMS紅外探測(cè)器響應(yīng)時(shí)間測(cè)量的裝置，包括：輻射光源生成模塊，用于產(chǎn)生輻射光源；脈沖激光生成模塊，用于根據(jù)所述輻射光源產(chǎn)生功率可調(diào)的脈沖激光，并輸入到MEMS紅外探測(cè)器；測(cè)量模塊，用于測(cè)得所述MEMS紅外探測(cè)器在所述脈沖激光不同功率下的第一電壓值和第二電壓值；響應(yīng)時(shí)間分析處理模塊，用于根據(jù)所述第一電壓值及第二電壓值測(cè)量所述MEMS紅外探測(cè)器的響應(yīng)時(shí)間。

結(jié)合第一方面，在第一方面第一實(shí)施方式中，所述輻射光源生成模塊包括：綠光激光器、鈦寶石激光器，所述綠光激光器用于向所述鈦寶石激光器發(fā)射第一出射光；所述鈦寶石激光器用于根據(jù)所述第一出射光泵浦形成具有預(yù)設(shè)波長(zhǎng)的所述輻射光源。

結(jié)合第一方面，在第一方面第二實(shí)施方式中，所述脈沖激光生成模塊包括：聲光調(diào)制器、信號(hào)發(fā)生器、RF射頻開關(guān)、VCO射頻信號(hào)發(fā)生器，所述信號(hào)發(fā)生器用于產(chǎn)生用以控制所述RF射頻開關(guān)的時(shí)間的方波信號(hào)；所述VCO射頻信號(hào)發(fā)生器用于產(chǎn)生初始連續(xù)信號(hào)；所述RF射頻開關(guān)用于根據(jù)所述方波信號(hào)的控制將所述初始連續(xù)信號(hào)轉(zhuǎn)換為初始脈沖信號(hào)；所述聲光調(diào)制器用于調(diào)節(jié)所述幅射光源為一級(jí)衍射光，并根據(jù)所述初始脈沖信號(hào)輸出所述脈沖激光。

結(jié)合第一方面第二實(shí)施方式，在第一方面第三實(shí)施方式中，所述脈沖激光生成模塊還包括：功率放大器，設(shè)置于所述RF射頻開關(guān)及所述聲光調(diào)制器之間，所述功率放大器用于將所述初始脈沖信號(hào)放大生成第一脈沖信號(hào)，并將所述第一脈沖信號(hào)輸出至所述聲光調(diào)制器；所述聲光調(diào)制器還用于調(diào)節(jié)所述幅射光源為一級(jí)衍射光，并根據(jù)所述第一脈沖信號(hào)輸出所述脈沖激光。

結(jié)合第一方面，在第一方面第四實(shí)施方式中，所述響應(yīng)時(shí)間分析處理模塊具體用于：根據(jù)所述第一電壓值及第二電壓值通過標(biāo)定公式測(cè)量所述MEMS紅外探測(cè)器的響應(yīng)時(shí)間，所述標(biāo)定公式為如下公式：