[實用新型]一種石英環自動火拋光裝置

有效

• 申請號: 201922333301.7
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN211946794U
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 耿健;蘇云飛;吳然紅;何求;楊軍
• 申請（專利權）人: 杭州大和熱磁電子有限公司
• 主分類號: C03B29/00
• 分類號: C03B29/00;C03B20/00
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

本實用新型公開了一種石英環自動火拋光裝置，包括用于支撐整個裝置的機架，設置在機架內的自動回轉升降機構，所述自動回轉升降機構包括升降主軸、用于控制產品升降動作的升降結構和用于控制產品回轉運動的回轉結構；產品工裝治具，所述產品工裝治具安裝在升降主軸上；焊槍組件，所述焊槍組件安裝在機架臺面上；為整個裝置提供電控控制保障的配電柜和上位機，所述配電柜安裝在機架一側，所述上位機安裝在配電柜上。本實用新型實現了石英環的自動火拋光，操作簡單、效率高且拋光質量均勻，還減少了人為操作步驟，降低了人工成本。

技術領域

本實用新型涉及石英玻璃加工領域，尤其是涉及一種石英環自動火拋光裝置。

背景技術

隨著芯片行業的快速發展，市場需求激增，半導體設備行業隨之發展迅速。石英玻璃產品屬于半導體設備常用的耗材部件，需求也隨之日益增長。石英玻璃采用高純度的硅砂作為原材料，成型后本身純度較高，也可作為半導體材料加工的重要輔材。石英玻璃屬于特種玻璃，石英制品加工除機械冷加工外，還有需要高溫焊槍加熱塑形的火加工，火加工過程中常見有兩種工藝：焊接和火拋光。火拋光屬于石英玻璃火加工工藝領域內重要工序，工藝要求嚴苛。當前石英玻璃火拋光工藝基本為人工操作，加工質量穩定性較差且效率低下，人力成本較高。

例如，在中國專利文獻上公開的“帶有凹口的石英大環拋光工藝”，其公告號CN110052899A，包括以下步驟：A、打磨外徑；B、清洗；C、將石英大環保持軸線水平放置于工作臺，使石英大環的凹口位置處在以石英大環最高點為端點的四分之一圓弧的中點；D、將石英大環緩慢推入退火爐內進行加熱，待退火爐升溫至950℃，停止加熱，將石英大環拖出；E、以火焰噴射的方式對石英大環上部的半個圓周進行高溫拋光；F、將石英大環推入退火爐內進行退火；G、檢查應力，將石英大環沿軸線旋轉180°，以火焰噴射的方式對石英大環未拋光的部分進行高溫拋光；H、再次將石英大環推入退火爐內進行退火；I、成品檢驗。該發明所述的工藝基本為人工操作，加工質量穩定性較差且效率低下，人力成本較高。

實用新型內容

本實用新型是為了克服現有的石英玻璃的火拋光工藝基本為人工操作，加工質量差且效率低下，人力成本高的問題，提供一種石英環自動火拋光裝置，實現石英環的自動火拋光，操作簡單、效率高且拋光質量均勻，還減少了人為操作步驟，降低了人工成本。

為了實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種石英環自動火拋光裝置，包括用于支撐整個裝置的機架，設置在機架內的自動回轉升降機構，所述自動回轉升降機構包括升降主軸、用于控制產品升降動作的升降結構和用于控制產品回轉運動的回轉結構；產品工裝治具，所述產品工裝治具安裝在升降主軸上；焊槍組件，所述焊槍組件安裝在機架臺面上；為整個裝置提供電控控制保障的配電柜和上位機，所述配電柜安裝在機架一側，所述上位機安裝在配電柜上。

機架用于支撐整個裝置，在機架上安裝了自動回轉升降機構，自動回轉升降機構用于控制產品的升降動作和回轉動作，其升降結構和回轉結構分別控制升降主軸的升降運動和回轉運動，而升降主軸連接產品工裝治具，產品固定在產品工裝治具上，隨著產品工裝治具進行運動，焊槍組件用于對產品進行火拋光作業；配電柜和上位機為整個裝置提供電控控制保障，上位機控制自動回轉升降機構的升降動作和回轉動作，上位機還控制了焊槍組件的開火和關火；在產品進行自動火拋光時，首先將產品放置在產品工裝治具上，然后將產品工裝治具安裝在升降主軸上，在啟動上位機，通過上位機調取相應的加工程序啟動運行，裝置即可全自動按照技工程序運轉，操作簡單便捷，效率高，較少了人為操作步驟，降低了人工成本，另外只要編輯好程序即可控制自動火拋光作業中的各種運動參數，使裝置可以更精準地控制產品，提高產品的拋光質量。

作為優選，所述自動回轉升降機構還包括用于支撐的升降裝置機架，所述升降裝置機架內設置有支撐板，所述升降結構和所述回轉結構分別設置在升降裝置機架內。

升降裝置機架為自動回轉升降機構提供了支撐平臺，其中支撐板用于支撐升降結構。