[實用新型]一種真空閥門的測試工裝

有效

• 申請號: 201922331354.5
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN211292378U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 郭衛強;朱東峰;李水波
• 申請（專利權）人: 昆山新萊潔凈應用材料股份有限公司
• 主分類號: G01N3/12
• 分類號: G01N3/12
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種真空閥門的測試工裝，其特征在于：包括矩形安裝底架(1)、矩形鋼鑄箱(4)、控制閥組(6)和控制柜(7)，所述矩形安裝底架(1)頂部的一側通過第一焊接架(2)和第二焊接架(3)固定安裝有矩形鋼鑄箱(4)，所述矩形鋼鑄箱(4)兩側的中央位置處能夠安裝測試閥(5)，所述矩形安裝底架(1)頂部靠近所述矩形鋼鑄箱(4)的位置處固定安裝有控制閥組(6)，所述矩形安裝底架(1)頂部遠離所述矩形鋼鑄箱(4)的一側固定安裝有控制柜(7)；所述矩形鋼鑄箱(4)兩端的中央位置處設有抽真空連接口(402)，所述矩形鋼鑄箱(4)兩側的中央位置處設有矩形孔(405)，所述矩形鋼鑄箱(4)的兩側固定安裝有鋼板(403)，所述鋼板(403)內側面的一周設有密封膠圈(401)，所述鋼板(403)的中央位置處開設有安裝口(404)。

2.根據權利要求1所述的一種真空閥門的測試工裝，其特征在于：所述控制閥組(6)底部的兩側固定安裝有第三焊接架(601)，所述控制閥組(6)頂部的一側固定安裝有焊接管(602)，所述焊接管(602)的一端設有第一連接口(603)，所述焊接管(602)遠離第一連接口(603)的一端設有第二連接口(604)，所述第一連接口(603)和所述第二連接口(604)通過導管與所述抽真空連接口(402)固定連接，所述焊接管(602)前側的中央位置處安裝有JC-1000氣壓傳感器(606)，所述焊接管(602)后側的中央位置處設有第三焊接口(605)，所述控制閥組(6)頂部的中央位置處固定安裝有SV008真空泵(607)，所述SV008真空泵(607)的輸入端與所述第三焊接口(605)固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種真空閥門的測試工裝，其特征在于：所述控制柜(7)的頂部設有控制開關(701)、鍵盤(702)和顯示屏(703)，所述控制柜(7)后部一側的底部通過導線連接有插頭(704)。

4.根據權利要求1所述的一種真空閥門的測試工裝，其特征在于：所述矩形安裝底架(1)底部的四個角固定安裝有萬向輪(101)，萬向輪(101)的后側設有剎車桿(102)。

5.根據權利要求1所述的一種真空閥門的測試工裝，其特征在于：所述矩形安裝底架(1)的后側通過焊接桿(8)固定安裝有推桿(9)，推桿(9)的表面套有防滑套(10)。