[實用新型]一種旋轉靶檢測裝置

有效

• 申請號: 201922322833.0
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN210952670U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 郭文明
• 申請（專利權）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號: G01B5/25
• 分類號: G01B5/25;G01B5/252
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 李少歡

本實用新型公開了一種旋轉靶檢測裝置，包括分別安裝于旋轉靶兩端口的檢測蓋和檢測桿，檢測蓋設置有安裝腔，安裝腔的形狀與旋轉靶端口形狀相適應，安裝腔的內側設置有內螺紋，旋轉靶的端口設置有安裝螺紋，內螺紋的形狀與安裝螺紋形狀相適應，檢測蓋的一端開設有安裝通孔，檢測桿設置有內桿部和手桿部，手桿部設置在內桿部的兩端，內桿部的外側面與旋轉靶的內壁間隙配合，手桿部的外側形狀與安裝通孔的內側形狀相適應，檢測蓋、安裝通孔與檢測桿同軸配合。本實用新型的旋轉靶檢測裝置，能檢測旋轉靶的兩端端口安裝螺紋的同軸度，嚴格驗證靶材形狀尺寸的可靠性，降低售后返修率。

技術領域

本實用新型涉及旋轉靶檢測技術領域，尤其是涉及一種旋轉靶檢測裝置。

背景技術

旋轉靶在磁控濺射設備上使用時，旋轉靶沿磁控濺射設備的安裝軸同軸旋轉，因此對靶材的形狀尺寸，包括端口安裝螺紋形狀尺寸和旋轉靶內壁形狀尺寸的要求很高，如果尺寸出現偏差，導致無法在設備上使用。若旋轉靶返回修整，則需要耽誤1-2周的時間，售后返修時間長，同時也增加了運輸成本，在運輸過程中靶材也有可能發生損壞。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供一種旋轉靶檢測裝置，能檢測旋轉靶的兩端端口安裝螺紋的同軸度，嚴格驗證靶材形狀尺寸的可靠性，降低售后返修率。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：一種旋轉靶檢測裝置，包括分別安裝于旋轉靶兩端口的檢測蓋和檢測桿，檢測蓋設置有安裝腔，安裝腔的形狀與旋轉靶端口形狀相適應，安裝腔的內側設置有內螺紋，旋轉靶的端口設置有安裝螺紋，內螺紋的形狀與安裝螺紋形狀相適應，檢測蓋的一端開設有安裝通孔，檢測桿設置有內桿部和手桿部，手桿部設置在內桿部的兩端，內桿部的外側面與旋轉靶的內壁間隙配合，手桿部的外側形狀與安裝通孔的內側形狀相適應，檢測蓋、安裝通孔與檢測桿同軸配合。

進一步的技術方案中，所述檢測蓋設置有安裝蓋，所述安裝腔和所述內螺紋設置于安裝蓋，安裝腔的底部設置有抵頂面，抵頂面與所述旋轉靶的端口的端面抵頂配合。

進一步的技術方案中，所述檢測蓋設置有固定限位蓋，所述安裝通孔設置于固定限位蓋，所述安裝腔的底部設置有連接口，固定限位蓋固定于安裝蓋設置有連接口的一側，連接口等于或大于所述安裝通孔。

進一步的技術方案中，所述固定限位蓋包括固定蓋、限位部和旋轉部件，限位部一側的中部設置有旋轉腔，旋轉部件固定安裝于旋轉腔，旋轉部件的中部開設有旋轉孔，限位部的另一側固定安裝有固定蓋，固定蓋的中部開設有插入孔，旋轉孔和插入孔連接形成所述安裝通孔，固定蓋、限位部和旋轉部件同軸安裝。

進一步的技術方案中，所述固定蓋、限位部和所述安裝蓋分別設置連接孔，固定蓋、限位部和所述安裝蓋的連接孔的位置對應設置，固定蓋、限位部和所述安裝蓋的連接孔分別對應連接。

進一步的技術方案中，所述旋轉腔的一側開設有限位孔，另一側為安裝開口端，限位孔大于所述旋轉孔，限位孔小于所述旋轉部件安裝于旋轉腔時的投影面積，所述旋轉腔的內輪廓形狀與所述旋轉部件形狀相適應，所述固定蓋覆蓋固定于安裝開口端。

進一步的技術方案中，所述固定蓋與所述旋轉腔圍合形成部件安裝空間，旋轉部件安裝于部件安裝空間內。

進一步的技術方案中，所述內桿部的兩端的端面分別抵頂所述檢測蓋的所述抵頂面，所述手桿部插入所述安裝通孔，手桿部沿安裝通孔延伸至所述檢測蓋的外側。

進一步的技術方案中，所述手桿部的直徑與所述安裝通孔的直徑相等。

進一步的技術方案中，所述內桿部的外壁與所述旋轉靶內壁的間隙設置在0.2mm至0.3mm。

采用上述結構后，本實用新型和現有技術相比所具有的優點是：