[實(shí)用新型]一種磁力補(bǔ)償渦旋真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922322230.0
• 申請日: 2019-12-20
• 公開（公告）號: CN211623708U
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣友榮
• 申請（專利權(quán)）人: 蔣友榮
• 主分類號: F04C18/02
• 分類號: F04C18/02;F04C25/02;F04C14/00;F04C14/28
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種磁力補(bǔ)償渦旋真空泵，包括電機(jī)（1）及與電機(jī)（1）輸出軸相連的曲軸（2），在曲軸（2）上設(shè)有支架（3）和靜渦旋盤（4），支架（3）和靜渦旋盤（4）共同圍合形成氣體容納腔（5），在氣體容納腔（5）內(nèi)的曲軸（2）上套裝著動渦旋盤（6），其特征在于：在所述支架（3）或靜渦旋盤（4）上設(shè)有外磁環(huán)（7），在動渦旋盤（6）上設(shè)有內(nèi)磁環(huán)（8），外磁環(huán)（7）和內(nèi)磁環(huán)（8）在磁力作用下使動渦旋盤（6）朝向靜渦旋盤（4）軸向靠近。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁力補(bǔ)償渦旋真空泵，其特征在于：所述外磁環(huán)（7）和內(nèi)磁環(huán)（8）嵌裝于支架（3）和動渦旋盤（6）的相鄰面間，且外磁環(huán)（7）和內(nèi)磁環(huán)（8）相鄰面的磁極性相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁力補(bǔ)償渦旋真空泵，其特征在于：所述外磁環(huán)（7）嵌裝于靜渦旋盤（4）的外端面上，內(nèi)磁環(huán)（8）嵌裝于與支架（3）相鄰的動渦旋盤（6）端面上，且外磁環(huán)（7）和內(nèi)磁環(huán)（8）相鄰面的磁極性相反。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁力補(bǔ)償渦旋真空泵，其特征在于：所述外磁環(huán)（7）和內(nèi)磁環(huán)（8）的大小相同，且二者與支架（3）同軸設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁力補(bǔ)償渦旋真空泵，其特征在于：所述外磁環(huán)（7）和內(nèi)磁環(huán)（8）均為電磁鐵，且在靜渦旋盤（4）和動渦旋盤（6）的軸向配合面間設(shè)有壓力傳感器（9），壓力傳感器（9）通過控制系統(tǒng)（10）電連接著外磁環(huán)（7）和內(nèi)磁環(huán)（8），控制系統(tǒng)（10）根據(jù)壓力傳感器（9）的檢測信息自動控制外磁環(huán)（7）和內(nèi)磁環(huán)（8）磁力的大小。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種磁力補(bǔ)償渦旋真空泵，其特征在于：所述外磁環(huán)（7）和內(nèi)磁環(huán)（8）均為分布式電磁體，包括內(nèi)筒體（71）及同軸套裝在內(nèi)筒體（71）外的外筒體（72），在內(nèi)筒體（71）和外筒體（72）間的環(huán)形腔體內(nèi)均布著若干個柱狀電磁體（73），壓力傳感器（9）通過控制系統(tǒng)（10）電連接在柱狀電磁體（73）上。