[實用新型]掃描電鏡原位物化反應(yīng)樣品臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922318490.0
• 申請日: 2019-12-20
• 公開（公告）號: CN211376583U
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫道寶;胡曉宇;高旭;王晶晶
• 申請（專利權(quán)）人: 天津膜天膜科技股份有限公司
• 主分類號: H01J37/28
• 分類號: H01J37/28;H01J37/20;H01J37/26
• 代理公司: 天津市三利專利商標(biāo)代理有限公司 12107
• 代理人: 楊歡

本實用新型屬于樣品檢測領(lǐng)域，具體涉及一種掃描電鏡原位物化反應(yīng)樣品臺，包括樣品臺本體以及設(shè)置在所述的樣品臺本體內(nèi)的用于放置樣品的導(dǎo)熱隔層；所述的導(dǎo)熱隔層將所述的樣品臺本體分割成氣體腔室以及控溫腔室；所述的氣體腔室內(nèi)設(shè)置有氣體入口以及氣體出口；所述的控溫腔室內(nèi)設(shè)置有加熱管路以及冷卻管路；所述的加熱管路的兩端分別與熱媒入口以及熱媒出口連接；所述的冷卻管路的兩端分別與冷媒入口以及冷媒出口連接。本申請的掃描電鏡原位物化反應(yīng)樣品臺通過轉(zhuǎn)換樣品室的氣體種類、調(diào)節(jié)冷熱媒的溫度，能夠?qū)崿F(xiàn)一個樣品臺中樣品不同溫度不同化學(xué)氛下微觀結(jié)構(gòu)形貌的觀察及成分分析。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于樣品檢測領(lǐng)域，具體涉及一種掃描電鏡原位物化反應(yīng)樣品臺。

背景技術(shù)

掃描電鏡作為微觀結(jié)構(gòu)形貌、成分分析的重要工具，已廣泛應(yīng)用于材料、化學(xué)、生物、微電子等多領(lǐng)域。其具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高、景深大、成像富有立體感等特點。

隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展，其他一些掃描電子顯微鏡組合分析功能也相繼出現(xiàn)，例如顯微熱臺和冷臺系統(tǒng)，用于觀察和分析材料分別在加熱和冷凍過程中材料相變、再結(jié)晶轉(zhuǎn)變、晶粒長大、氧化反應(yīng)、氣體反應(yīng)、元素遷徙及電子器件失效分析等。

目前，還沒有一種樣品臺能夠?qū)崿F(xiàn)樣品從超低溫到高溫的全程物理化學(xué)過程觀測，同時觀察樣品的真空及反應(yīng)氛暴露的狀態(tài)切換。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種掃描電鏡原位物化反應(yīng)樣品臺。

本實用新型為實現(xiàn)上述目的，采用以下技術(shù)方案：

一種掃描電鏡原位物化反應(yīng)樣品臺,包括樣品臺本體以及設(shè)置在所述的樣品臺本體內(nèi)的用于放置樣品的導(dǎo)熱隔層；所述的導(dǎo)熱隔層將所述的樣品臺本體分割成氣體腔室以及控溫腔室；所述的氣體腔室內(nèi)設(shè)置有氣體入口以及氣體出口；所述的控溫腔室內(nèi)設(shè)置有加熱管路以及冷卻管路；所述的加熱管路的兩端分別與熱媒入口以及熱媒出口連接；所述的冷卻管路的兩端分別與冷媒入口以及冷媒出口連接。

所述的樣品臺本體上設(shè)置有觀察窗；所述的觀察窗的位置與樣品的放置位置對應(yīng)；所述的觀察窗與所述的樣品臺本體可開合連接。

所述的觀察窗與所述的樣品臺本體的接觸處設(shè)置有密封墊。

還包括隔熱密封腔；所述的樣品臺本體設(shè)置在所述的隔熱密封腔內(nèi)部。

所述的隔熱密封腔上設(shè)置有與隔熱密封腔可開合連接的觀察口。

所述的氣體腔室內(nèi)設(shè)置有溫度計。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

本申請的掃描電鏡原位物化反應(yīng)樣品臺通過轉(zhuǎn)換樣品室的氣體種類、調(diào)節(jié)冷熱媒的溫度，能夠?qū)崿F(xiàn)一個樣品臺中樣品不同溫度不同化學(xué)氛下微觀結(jié)構(gòu)形貌的觀察及成分分析。

附圖說明

圖1為本實用新型掃描電鏡原位物化反應(yīng)樣品臺的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

具體實施方式

為了使本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和最佳實施例對本實用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

圖1示出一種掃描電鏡原位物化反應(yīng)樣品臺,包括隔熱密封腔1、樣品臺本體9以及設(shè)置在所述的樣品臺本體內(nèi)的用于放置樣品14的導(dǎo)熱隔層11；所述的導(dǎo)熱隔層將所述的樣品臺本體分割成氣體腔室以及控溫腔室；所述的氣體腔室內(nèi)設(shè)置有氣體入口3以及氣體出口4；所述的控溫腔室內(nèi)設(shè)置有加熱管路12以及冷卻管路13；所述的加熱管路的兩端分別與熱媒入口5以及熱媒出口6連接；所述的冷卻管路的兩端分別與冷媒入口7以及冷媒出口8連接。