[實(shí)用新型]一種螺紋滾輪和一種刻蝕裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922312720.2
• 申請日: 2019-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN211045456U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳章平;崔水煒
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州昊建自動(dòng)化系統(tǒng)有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 徐律

本實(shí)用新型公開一種螺紋滾輪和一種刻蝕裝置，其中螺紋滾輪包括：滾輪本體；外螺紋，其設(shè)于所述滾輪本體的外周面上，所述外螺紋的螺紋深度為大于等于3毫米且小于等于4毫米。此結(jié)構(gòu)的一種螺紋滾輪，由于硅片在刻蝕槽內(nèi)反應(yīng)過程中會(huì)產(chǎn)生氣泡，氣泡會(huì)影響硅片的背拋效果，通過設(shè)置螺紋滾輪的螺紋深度為大于等于3毫米且小于等于4毫米，即螺紋深度較深，可將氣泡切割成較小的氣泡而儲(chǔ)存在外螺紋的凹陷部內(nèi)，隨著硅片脫離螺紋滾輪后氣泡會(huì)被釋放出來，避免了外螺紋的凹陷部無法儲(chǔ)存全部的氣泡而造成多余的氣泡在硅片上炸開以導(dǎo)致過度刻蝕以及硅片的水膜被震落使得減重下降、自補(bǔ)給量大的情況出現(xiàn)，從而獲得較佳的背拋效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種螺紋滾輪和一種刻蝕裝置。

背景技術(shù)

常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在所有的可持續(xù)能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前，在所有的太陽電池中，晶體硅太陽電池是得到大范圍商業(yè)推廣的太陽能電池之一，這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲(chǔ)量，同時(shí)晶體硅太陽電池相比其他類型的太陽能電池有著優(yōu)異的電學(xué)性能和機(jī)械性能，因此，晶體硅太陽電池在光伏領(lǐng)域占據(jù)著重要的地位。

刻蝕是晶體硅太陽電池制備過程中的一道重要工序，在刻蝕工藝中，一般是采用表面開設(shè)有螺紋的滾輪來對硅片進(jìn)行傳輸，同時(shí)利用毛細(xì)原理通過螺紋將刻蝕液引到硅片背面，對硅片進(jìn)行腐蝕。但是，隨著對太陽電池的減重量需求的變化，現(xiàn)有技術(shù)中的滾輪上的螺紋無法儲(chǔ)存全部的氣泡而降低了硅片的背拋效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

因此，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的滾輪上的螺紋無法儲(chǔ)存全部的氣泡的缺陷，從而提供一種螺紋滾輪和一種刻蝕裝置。

一種螺紋滾輪，包括：

滾輪本體；

外螺紋，其設(shè)于所述滾輪本體的外周面上，所述外螺紋的螺紋深度為大于等于3毫米且小于等于4毫米。

進(jìn)一步地，所述外螺紋的螺距為大于等于2毫米且小于等于3毫米。

進(jìn)一步地，所述外螺紋的螺紋升角為大于等于2度且小于等于5度。

進(jìn)一步地，所述外螺紋為直螺紋或者左旋螺紋或者右旋螺紋。

進(jìn)一步地，所述滾輪本體的第一端部上設(shè)有直齒圓錐齒輪。

進(jìn)一步地，所述滾輪本體的第一端部上還設(shè)有直齒圓柱齒輪，所述直齒圓柱齒輪設(shè)于所述直齒圓錐齒輪和所述外螺紋之間。

進(jìn)一步地，所述滾輪本體的第二端部上設(shè)有耐磨套和卡環(huán)，所述卡環(huán)遠(yuǎn)離所述外螺紋設(shè)置且卡設(shè)于所述滾輪本體的第二端部。

進(jìn)一步地，還包括支撐連接件，所述支撐連接件穿設(shè)于所述滾輪本體的第一端部上且位于所述直齒圓柱齒輪和所述外螺紋之間，用于支撐所述滾輪本體。

一種刻蝕裝置，其包括：

刻蝕本體，其內(nèi)設(shè)有刻蝕槽；

多個(gè)如上述的一種螺紋滾輪，其設(shè)于所述刻蝕槽內(nèi)；

驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件，其連接于所述螺紋滾輪以使所述螺紋滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述外螺紋為直螺紋，相鄰的所述螺紋滾輪的直螺紋的螺紋凹陷部和螺紋凸起部相對設(shè)置；或者，所述外螺紋分別為左旋螺紋和右旋螺紋，相鄰的所述螺紋滾輪的旋向不同。

本實(shí)用新型技術(shù)方案，具有如下優(yōu)點(diǎn)：