[實用新型]一種MEMS麥克風的測試電路及設備

有效

• 申請號: 201922311643.9
• 申請日: 2019-12-20
• 公開（公告）號: CN210694365U
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 侯文赫;張道寧
• 申請（專利權）人: 南京翊寧智能科技有限公司
• 主分類號: H04R29/00
• 分類號: H04R29/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本實用新型實施例提供了一種MEMS麥克風的測試電路及設備，該MEMS麥克風的測試電路包括邏輯控制器、放大電路以及模/數轉換器；放大電路的輸入端與MEMS麥克風的輸出端電連接，放大電路的輸出端與模/數轉換器的輸入端電連接；放大電路將MEMS麥克風輸出的電信號進行放大，并輸出放大信號至所述模/數轉換器；模/數轉換器的使能端與邏輯控制器的使能信號輸出端電連接，模/數轉換器的輸出端與邏輯控制器的輸入端電連接；模/數轉換器接收邏輯控制器的輸出的使能信號，將放大信號轉換為數字信號，并輸出至邏輯控制器；邏輯控制器接收該數字信號，并輸出靈敏度檢測結果。本實用新型實施例提供的MEMS麥克風的測試電路結構簡單，從而能夠降低麥克風測試成本。

技術領域

本實用新型涉及電路技術領域，尤其涉及一種MEMS麥克風的測試電路及設備。

背景技術

麥克風是一種將聲音轉化為電信號的換能器。其中，微型機電系統 (Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麥克風是基于MEMS技術制造的麥克風。該MEMS麥克風的工作原理是利用聲音變化產生的壓力梯度使電容式麥克風的聲學振膜受聲壓干擾而產生形變，進而改變聲學振膜與硅背極板之間的電容值。由于MEMS麥克風具有耐候性佳、尺寸小及易于數字化的優點，而在手機、助聽器等電子設備上具有很大的應用前景。

由于MEMS麥克風采用半導體材質，其特性穩定，不會受到環境溫濕度的影響而發生改變，因而可以維持穩定的音質。當將MEMS麥克風應用于高精度的設備中時，需要MEMS麥克風的靈敏度達到相應的要求，例如為±1dB。因此，將MEMS應用于高精度的設備中時，需要對MEMS的靈敏度進行測試。現有技術中，通常使用專用頻響檢測設備對MEMS的靈敏度進行檢測，但是該測試測試成本較高，導致MEMS麥克風具有較高的測試成本，且測試流程復雜，測試成本較高。

實用新型內容

本實用新型實施例提供一種MEMS麥克風的測試電路及設備，以解決現有技術中MEMS麥克風檢測設備結構復雜，成本較高，導致測試成本高，測試效率低的技術問題。

第一方面，本實用新型實施例提供了一種MEMS麥克風的測試電路，包括：邏輯控制器、放大電路以及模/數轉換器；

所述放大電路的輸入端與所述MEMS麥克風的輸出端電連接，所述放大電路的輸出端與所述模/數轉換器的輸入端電連接；所述放大電路將所述MEMS 麥克風輸出的電信號進行放大，并輸出放大信號至所述模/數轉換器；

所述模/數轉換器的使能端與所述邏輯控制器的使能信號輸出端電連接，所述模/數轉換器的輸出端與所述邏輯控制器的輸入端電連接；所述模/數轉換器接收所述邏輯控制器的輸出的使能信號，將所述放大信號轉換為數字信號，并輸出至所述邏輯控制器；

所述邏輯控制器接收所述數字信號，并輸出靈敏度檢測結果。

可選的，所述放大電路包括第一級放大電路、第二級放大電路和第三級放大電路；所述第一級放大電路、所述第二級放大電路以及所述第三級放大電路順次連接；

其中，所述第一級放大電路的輸入端與所述MEMS麥克風的輸出端電連接；所述第三級放大電路的輸出端與所述模/數轉換器的輸入端電連接。

可選的，所述第一級放大電路與所述第二級放大電路之間設置有第一測試點，所述第二級放大電路與所述第三級放大電路之間設置有第二測試點；

檢測器采集第一測試點和第二測試點的信號，對所述第一級放大電路和所述第二級放大電路的放大信號進行檢測。

可選的，所述第一級放大電路包括：第一運算放大器、第一電容、第二電容、第一電阻、第二電阻、第三電阻和第四電阻；

所述第一電容的第一端與所述MEMS麥克風的輸出端電連接，所述第一電容的第二端通過所述第一電阻與所述第一運算放大器的同相輸入端電連接；