[實用新型]一種真空度恒定的真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201922304887.4
• 申請日: 2019-12-19
• 公開（公告）號: CN211339679U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 封文炎;阮志明;吳敬超;林敏;賴鴻飛;廖俊峰;王波;魏城峰
• 申請（專利權）人: 深圳市正和忠信股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 中山市興華粵專利代理有限公司 44345
• 代理人: 鄧愛軍

本實用新型涉及真空鍍膜設備技術領域，且公開了一種真空度恒定的真空鍍膜機，包括真空鍍膜機本體，所述真空鍍膜機本體的一側側壁通過管道連通有真空泵，所述真空鍍膜機本體的上端內壁固定連接有物料架，且真空鍍膜機本體的一側側壁固定連接有負壓倉，所述負壓倉與真空鍍膜機本體連通設置，且負壓倉的內壁滑動連接有真空腔，所述真空腔靠近真空鍍膜機本體的一側滑動連接有擋板。該種真空度恒定的真空鍍膜機，通過距離傳感器配合電動推桿和真空腔，利用電動推桿移動真空腔調整真空鍍膜機本體的內部容積快速實現真空度的快速調整，然后配合真空泵進行真空度的緩速調整，并使真空腔回歸初始位置，及時響應下次真空度變化。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜設備技術領域，具體為一種真空度恒定的真空鍍膜機。

背景技術

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，主要思路是分成蒸發和濺射兩種，在真空鍍膜過程中，保持真空度是真空鍍膜的一個的質量關鍵點，在真空鍍膜生產過程中對于真空條件是有嚴格限定的，真空度過高或過低都會影響鍍膜的性能和質量。

在現有技術中，工廠里使用的鍍膜機對于真空度的控制通常采用感應器配合羅茨泵，在真空鍍膜機內真空度下降時啟動羅茨泵進行抽真空，而羅茨泵抽真空時間較長，無法以較快的速度穩定真空度，甚至有可能導致真空度過高，反而降低鍍膜質量，為此，我們提出一種真空度恒定的真空鍍膜機解決上述問題。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種真空度恒定的真空鍍膜機，具備真空度恒定、響應時間短、真空度調整速度快、結構簡單等優點，解決了背景技術提出的問題。

(二)技術方案

為實現上述真空度恒定、響應時間短、真空度調整速度快、結構簡單等優點的目的，本實用新型提供如下技術方案：一種真空度恒定的真空鍍膜機，包括真空鍍膜機本體，所述真空鍍膜機本體的一側側壁通過管道連通有真空泵，所述真空鍍膜機本體的上端內壁固定連接有物料架，且真空鍍膜機本體的一側側壁固定連接有負壓倉，所述負壓倉與真空鍍膜機本體連通設置，且負壓倉的內壁滑動連接有真空腔，所述真空腔靠近真空鍍膜機本體的一側滑動連接有擋板，且真空腔遠離擋板的側壁固定連接有電動推桿，所述電動推桿遠離真空腔的一端與負壓倉的內壁固定連接，所述真空腔的靠近真空鍍膜機本體的一端固定連接有距離傳感器，且距離傳感器通過導線與真空泵和電動推桿電聯接，所述真空腔遠離真空鍍膜機本體的內壁固定連接有壓縮彈簧，且壓縮彈簧遠離真空腔的一端與擋板固定連接。

優選的，所述擋板的表面開設有透氣孔，且擋板靠近透氣孔的側壁固定連接有支架，所述支架內滑動連接有活塞，且活塞貫穿透氣孔設置。

優選的，所述真空腔的側壁套設有密封墊圈，且密封墊圈與負壓倉的內壁為過盈配合，所述擋板的四周固定連接有密封套，且密封套與真空腔的內壁為過盈配合。

優選的，所述擋板靠近壓縮彈簧的側壁固定連接有多個套管，且多個套管內均滑動連接有滑桿，所述滑桿遠離套管的一端與真空腔的內壁固定連接。

優選的，所述活塞為橡膠材質，且活塞的外徑大于透氣孔的外徑。

優選的，所述支架遠離活塞的一側固定連接有電磁鐵，且活塞內嵌設有磁性金屬。

(三)有益效果

與現有技術對比，本實用新型具備以下有益效果：

1、該種真空度恒定的真空鍍膜機，通過距離傳感器配合電動推桿和真空腔，利用電動推桿移動真空腔調整真空鍍膜機本體的內部容積快速實現真空度的快速調整，然后配合真空泵進行真空度的緩速調整，并使真空腔回歸初始位置，及時響應下次真空度變化。