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[實用新型]一種光器件封裝結構及光器件裝置有效

專利信息
申請號: 201922293611.0 申請日: 2019-12-19
公開(公告)號: CN211858688U 公開(公告)日: 2020-11-03
發明(設計)人: 唐永正;李波;王淑暉;徐強;潘雙收 申請(專利權)人: 武漢英飛光創科技有限公司
主分類號: H01L51/52 分類號: H01L51/52
代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228 代理人: 鄭飛
地址: 430000 湖北省武漢市東湖新技術開發區流芳大道*** 國省代碼: 湖北;42
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 器件 封裝 結構 裝置
【權利要求書】:

1.一種光器件封裝結構,其特征在于,所述封裝結構(100)包括玻璃基板(10)及多個單獨密封單元,各所述密封單元包括依次堆疊排布的有機材料密封層(20)、出光層(30)、封裝層(40)、粘合層(60)及蓋板玻璃層(70);

所述有機材料密封層(20)設置于所述玻璃基板(10)上,所述有機材料密封層(20)與所述玻璃基板(10)之間設有用于放置光器件(200)的空腔,所述出光層(30)包覆于所述有機材料密封層(20)上,所述封裝層(40)包覆于所述出光層(30)上,所述蓋板玻璃層(70)通過所述粘合層(60)包覆于所述封裝層(40)上,所述蓋板玻璃層(70)的兩側均設有與所述玻璃基板(10)粘接的貼合邊沿(71)。

2.根據權利要求1所述一種光器件封裝結構,其特征在于,各所述密封單元還包括無機材料密封層(50),所述無機材料密封層(50)設置于所述封裝層(40)與所述粘合層(60)之間。

3.根據權利要求1所述一種光器件封裝結構,其特征在于,所述封裝層(40)包括無機氧化物層(41)及緩沖層(42),所述緩沖層(42)包覆于所述出光層(30)上,所述無機氧化物層(41)包覆于所述緩沖層(42)上。

4.根據權利要求3所述一種光器件封裝結構,其特征在于,所述的無機氧化物層采用多層金屬氧化物交替形成;所述無機氧化物層的厚度為10nm-100nm;所述無機氧化物層的折射率為0.6-1.1;所述無機氧化物層采用ALD沉積的方式;所述緩沖層為聚硅氧烷。

5.根據權利要求3所述一種光器件封裝結構,其特征在于,所述緩沖層采用旋涂的方式進行生長,緩沖層厚度為100nm-250nm。

6.根據權利要求1所述一種光器件封裝結構,其特征在于,所述貼合邊沿(71)的上表面設有按壓槽(711),所述按壓槽(711)為橢圓形。

7.根據權利要求4所述一種光器件封裝結構,其特征在于,所述出光層(30)的厚度為2-8nm;所述出光層(30)的折射率范圍為1.2-1.50。

8.根據權利要求7所述一種光器件封裝結構,其特征在于,所述蓋板玻璃層(70)的沉積厚度為60nm-100nm,所述有機材料密封層(20)的厚度為30nm-40nm;所述粘合層采用面涂覆方式形成,厚度為2-8μm。

9.一種光器件裝置,其特征在于,包括權利要求1-8任一所述光器件封裝結構及光器件(200),所述光器件(200)放置于所述空腔內。

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