[實用新型]一種基于懸臂梁結構的改進光波導傳感器結構

有效

• 申請號: 201922292246.1
• 申請日: 2019-12-19
• 公開（公告）號: CN210893173U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 井亞超;范國芳;李源;王目光;張澤平;王榮偉
• 申請（專利權）人: 北京交通大學
• 主分類號: G01D5/26
• 分類號: G01D5/26;G01B11/02;G01B11/16;G02B6/10;B81B3/00
• 代理公司: 北京市誠輝律師事務所 11430
• 代理人: 楊帥峰

1.一種基于懸臂梁結構的改進光波導傳感器結構，其特征是，該結構包括：輸入波導，緩沖層，懸臂梁波導與輸出波導，輸入波導接收輸入光信號并進行傳輸，到達緩沖層處，在緩沖層內傳輸時同時與懸臂梁波導進行耦合，之后光沿著懸臂梁波導進行傳輸，光到達懸臂梁波導末端后經過一個間隙后被輸出波導捕獲，最后在輸出波導中傳輸并由輸出波導輸出最終的光功率，當懸臂梁波導上下表面產生應力差時會導致懸臂梁波導發生末端偏轉從而使懸臂梁波導與輸出波導間的耦合光功率下降，通過檢測輸出光功率的變化間接檢測懸臂梁波導表面的受力情況。

2.根據權利要求1所述的一種基于懸臂梁結構的改進光波導傳感器結構，其特征在于輸入波導與輸出波導由芯層與包層構成對稱波導結構并沉積在襯底材料上，懸臂梁波導材料與輸入波導包層材料相同并與輸入波導底部包層對接，初始狀態為水平懸置，其包層由外界環境決定，用于產生偏轉位移信號與光傳輸，緩沖層材料與輸入波導芯層相同并與其對接，沉積于懸臂梁波導上。

3.根據權利要求1或2所述的一種基于懸臂梁結構的改進光波導傳感器結構，其特征在于通過緩沖層結構減緩光在輸入波導與懸臂梁波導連接處的耦合方式突變。

4.根據權利要求1或2所述的一種基于懸臂梁結構的改進光波導傳感器結構，其特征在于懸臂梁波導上下表面應力產生差距時會使懸臂梁波導產生偏轉位移，不同偏轉位移對應不同的輸出光功率。