[實用新型]一種抽空檢漏裝置

有效

• 申請號: 201922281690.3
• 申請日: 2019-12-18
• 公開（公告）號: CN211401578U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 高玉順;宋生宏;韓永龍
• 申請（專利權）人: 陽光能源（青海）有限公司
• 主分類號: G01M3/26
• 分類號: G01M3/26
• 代理公司: 青海省專利服務中心 63100
• 代理人: 李玉青

本實用新型提供一種抽空檢漏裝置。所述抽空檢漏裝置包括：真空泵；連接管道，所述連接管道設置于所述真空泵的輸出端；坩堝磁流體檢漏裝置，所述坩堝磁流體檢漏裝置設置于所述連接管道的輸出端；所述坩堝磁流體檢漏裝置包括第一主管，所述第一主管的底部固定連接有第一法蘭；坩堝磁流體，所述坩堝磁流體設置于所述坩堝磁流體檢漏裝置上；真空測偶，所述真空測偶設置于所述坩堝磁流體檢漏裝置的頂部。本實用新型提供的抽空檢漏裝置具有通過開啟真空泵，開始抽空，最后保壓，通過工控機來觀測數值的變化，來判定維修好的坩堝磁流體是否合格，坩堝磁流體和晶轉磁流體與檢測設備的連接結構和檢測簡單，經濟實用，操作靈活。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅生產用檢漏設備技術領域，尤其涉及一種抽空檢漏裝置。

背景技術

生產單晶硅行業當中，設備漏氣和漏水是會導致很嚴重的后果，要么拉制不成功導致提段、單晶變色甚至無法拉制的問題，在這種情況中我們先要保證單晶爐上坩堝磁流體和晶轉磁流體的質量，保證我們維修的磁流體不能有漏氣現象。

在直拉單晶行業中，坩堝磁流體和晶轉磁流體扮演者很重要的角色，維修好的兩種磁流體怎么檢測是成為了一個問題，坩堝磁流體可以裝在單晶爐上可以檢測，但是工作量大，工作繁瑣而且必須有閑置的單晶爐才能去做檢測，而且一旦檢測出有問題的話又得拆卸這個一裝一柴會浪費將近5個小時的時間，所以即耽誤工作又浪費時間，晶轉磁流體都無法檢測。

因此，有必要提供一種抽空檢漏裝置解決上述技術問題。

實用新型內容

本實用新型提供一種抽空檢漏裝置，解決了坩堝磁流體和晶轉磁流體不方便檢漏的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的抽空檢漏裝置包括：真空泵；連接管道，所述連接管道設置于所述真空泵的輸出端；坩堝磁流體檢漏裝置，所述坩堝磁流體檢漏裝置設置于所述連接管道的輸出端；所述坩堝磁流體檢漏裝置包括第一主管，所述第一主管的底部固定連接有第一法蘭；坩堝磁流體，所述坩堝磁流體設置于所述坩堝磁流體檢漏裝置上；真空測偶，所述真空測偶設置于所述坩堝磁流體檢漏裝置的頂部；工控機，所述工控機設置于所述真空測偶的頂部。

優選的，所述第一主管的左側固定連接有第一快裝法蘭，所述第一主管的頂部設置有第二快裝法蘭。

優選的，所述第一法蘭的底部與所述坩堝磁流體之間固定安裝，所述第一快裝法蘭與所述連接管道的輸出端相互連通，所述第二快裝法蘭的輸出端與所述真空測偶之間相互連通。

優選的，還包括晶轉磁流體檢漏裝置，所述晶轉磁流體檢漏裝置設置于所述連接管道的輸出端，并且晶轉磁流體檢漏裝置上設置有晶轉磁流體，所述晶轉磁流體檢漏裝置包括第二主管。

優選的，所述第二主管的側面固定連接有第二法蘭，所述第二法蘭的輸出端與所述真空測偶的輸入端相互連通，所述第二主管的左側固定連接有第三快裝法蘭。

優選的，所述第三快裝法蘭的輸入端與所述連接管道的輸出端相互連通，所述第二主管的頂部固定連接有第四快裝法蘭，所述第四快裝法蘭的輸出端與所述晶轉磁流體之間相互連通。

優選的，還包括安裝架，所述安裝架的頂部與所述真空泵的底部固定連接，并且安裝架的頂部固定連接有分流箱，所述分流箱的輸出端固定分別固定連接有第一分接管和第二分接管，所述第一分接管上設置有第一控制閥，所述第二分接管上設置有第二控制閥。

與相關技術相比較，本實用新型提供的抽空檢漏裝置具有如下有益效果：

本實用新型提供一種抽空檢漏裝置，通過開啟真空泵，開始抽空，最后保壓，通過工控機來觀測數值的變化，來判定維修好的坩堝磁流體是否合格，坩堝磁流體和晶轉磁流體與檢測設備的連接結構和檢測簡單，經濟實用，操作靈活。

附圖說明