[實(shí)用新型]一種X射線CT成像裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922275138.3
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號(hào): CN211955272U
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 貢志鋒;馬艷玲;高建波;張書彥;詹霞;王晨;張鵬;魏海冰
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞材料基因高等理工研究院;廣東書彥材料基因創(chuàng)新科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N23/046
• 分類號(hào): G01N23/046
• 代理公司: 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44288
• 代理人: 王忠浩

本實(shí)用新型公開了一種X射線CT成像裝置，包括：X射線管、X射線管回轉(zhuǎn)座、橢圓反射鏡、局部高精度探測器、以及局部高精度探測器回轉(zhuǎn)座；X射線管可轉(zhuǎn)動(dòng)連接于X射線管回轉(zhuǎn)座上；局部高精度探測器可轉(zhuǎn)動(dòng)連接于局部高精度探測器回轉(zhuǎn)座上；橢圓反射鏡的鏡面朝向于待檢測的電路板樣品，X射線管設(shè)置在橢圓反射鏡所在橢圓的一個(gè)焦點(diǎn)上，電路板樣品、局部高精度探測器依次設(shè)置于X射線管發(fā)出的射線經(jīng)橢圓反射鏡的鏡面反射后所經(jīng)過的路徑上。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中難以對大面積集成電路板進(jìn)行局部高精度掃描的難題，能夠?qū)﹄娐钒尻P(guān)鍵部件的散熱結(jié)構(gòu)、芯片焊接等情況進(jìn)行CT成像，極大地提高了大面積集成電路板的質(zhì)量檢測效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及CT成像領(lǐng)域，具體涉及一種X射線CT成像裝置。

背景技術(shù)

為了研究集成電路板的散熱結(jié)構(gòu)、芯片焊接情況，通常需要利用X射線技術(shù)來對電路板的關(guān)鍵部位進(jìn)行CT成像。但是，對于電腦、顯示屏、大型服務(wù)器等的大面積電路板，尺寸通常較大，現(xiàn)有的工業(yè)CT無法完成高精度的掃描，主要原因在于：大型電路板寬度或高度較大，沿電路板方向，低功率高精度工業(yè)CT無法穿透電路板；大功率工業(yè)CT則可以穿透，但又會(huì)面臨精度不夠的問題。

目前，尚無相關(guān)的裝置產(chǎn)品可解決該問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種X射線CT成像裝置，可應(yīng)用于大面積集成電路板上，通過聚焦X射線并采用高精度小型探測器來解決局部高精度掃描的問題。

本實(shí)用新型采用以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

一種X射線CT成像裝置，包括：X射線管、X射線管回轉(zhuǎn)座、橢圓反射鏡、局部高精度探測器、以及局部高精度探測器回轉(zhuǎn)座；所述X射線管可轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述X射線管回轉(zhuǎn)座上；所述局部高精度探測器可轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述局部高精度探測器回轉(zhuǎn)座上；所述橢圓反射鏡的鏡面朝向于待檢測的電路板樣品，所述X射線管設(shè)置在所述橢圓反射鏡所在橢圓的一個(gè)焦點(diǎn)上，并且，所述電路板樣品、所述局部高精度探測器依次設(shè)置于所述X射線管發(fā)出的射線經(jīng)所述橢圓反射鏡的鏡面反射后所經(jīng)過的路徑上。

進(jìn)一步地，所述X射線CT成像裝置還包括主探測器；所述主探測器設(shè)置在所述電路板樣品相對于所述X射線管的另一側(cè)上，所述電路板樣品位于所述X射線管和所述主探測器的連線方向上；所述局部高精度探測器回轉(zhuǎn)座固定連接在所述主探測器的側(cè)部。

進(jìn)一步地，所述X射線CT成像裝置還包括回轉(zhuǎn)平臺(tái)；所述電路板樣品可轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述回轉(zhuǎn)平臺(tái)上。

進(jìn)一步地，所述X射線CT成像裝置還包括X-Y移動(dòng)平臺(tái)，所述X-Y移動(dòng)平臺(tái)包括相互垂直設(shè)置的第一滑軌組件和第二滑軌組件；所述第一滑軌組件包括第一滑軌、第一滑塊以及用于驅(qū)動(dòng)所述第一滑塊的第一電機(jī)；所述第二滑軌組件包括第二滑軌、第二滑塊以及用于驅(qū)動(dòng)第二滑塊的第二電機(jī)；所述第二滑軌固定連接在所述第一滑塊上，所述回轉(zhuǎn)平臺(tái)固定連接在所述第二滑塊上。

進(jìn)一步地，所述X射線CT成像裝置還包括底座；所述第一滑軌組件固定連接在所述底座上。

進(jìn)一步地，所述X射線CT成像裝置還包括固定垂直設(shè)置在所述底座上的兩個(gè)側(cè)板；所述X射線管和所述主探測器相對設(shè)置在兩個(gè)所述側(cè)板上。

進(jìn)一步地，所述X射線CT成像裝置還包括設(shè)置在一所述側(cè)板上的第三滑軌組件，所述第三滑軌組件包括第三滑軌和第三滑塊，所述X射線管回轉(zhuǎn)座固定連接在所述第三滑塊上。

進(jìn)一步地，所述X射線CT成像裝置還包括支撐臂；所述支撐臂包括兩個(gè)通過旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)鉸接的桿體，所述支撐臂的一端固定連接在所述第三滑塊的側(cè)部，另一端與所述橢圓反射鏡固定連接。

進(jìn)一步地，所述X射線CT成像裝置還包括設(shè)置在一所述側(cè)板上的第四滑軌組件，所述第四滑軌組件包括第四滑軌和第四滑塊，所述主探測器固定連接在所述第四滑塊上。

進(jìn)一步地，所述橢圓反射鏡為多層鍍膜反射鏡。