[實用新型]一種X射線CT成像裝置

有效

• 申請號: 201922275138.3
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN211955272U
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 貢志鋒;馬艷玲;高建波;張書彥;詹霞;王晨;張鵬;魏海冰
• 申請（專利權）人: 東莞材料基因高等理工研究院;廣東書彥材料基因創新科技有限公司
• 主分類號: G01N23/046
• 分類號: G01N23/046
• 代理公司: 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 王忠浩

本實用新型公開了一種X射線CT成像裝置，包括：X射線管、X射線管回轉座、橢圓反射鏡、局部高精度探測器、以及局部高精度探測器回轉座；X射線管可轉動連接于X射線管回轉座上；局部高精度探測器可轉動連接于局部高精度探測器回轉座上；橢圓反射鏡的鏡面朝向于待檢測的電路板樣品，X射線管設置在橢圓反射鏡所在橢圓的一個焦點上，電路板樣品、局部高精度探測器依次設置于X射線管發出的射線經橢圓反射鏡的鏡面反射后所經過的路徑上。本實用新型解決了現有技術中難以對大面積集成電路板進行局部高精度掃描的難題，能夠對電路板關鍵部件的散熱結構、芯片焊接等情況進行CT成像，極大地提高了大面積集成電路板的質量檢測效果。

技術領域

本實用新型涉及CT成像領域，具體涉及一種X射線CT成像裝置。

背景技術

為了研究集成電路板的散熱結構、芯片焊接情況，通常需要利用X射線技術來對電路板的關鍵部位進行CT成像。但是，對于電腦、顯示屏、大型服務器等的大面積電路板，尺寸通常較大，現有的工業CT無法完成高精度的掃描，主要原因在于：大型電路板寬度或高度較大，沿電路板方向，低功率高精度工業CT無法穿透電路板；大功率工業CT則可以穿透，但又會面臨精度不夠的問題。

目前，尚無相關的裝置產品可解決該問題。

實用新型內容

為克服現有技術的不足，本實用新型的目的在于提供一種X射線CT成像裝置，可應用于大面積集成電路板上，通過聚焦X射線并采用高精度小型探測器來解決局部高精度掃描的問題。

本實用新型采用以下的技術方案來實現：

一種X射線CT成像裝置，包括：X射線管、X射線管回轉座、橢圓反射鏡、局部高精度探測器、以及局部高精度探測器回轉座；所述X射線管可轉動連接于所述X射線管回轉座上；所述局部高精度探測器可轉動連接于所述局部高精度探測器回轉座上；所述橢圓反射鏡的鏡面朝向于待檢測的電路板樣品，所述X射線管設置在所述橢圓反射鏡所在橢圓的一個焦點上，并且，所述電路板樣品、所述局部高精度探測器依次設置于所述X射線管發出的射線經所述橢圓反射鏡的鏡面反射后所經過的路徑上。

進一步地，所述X射線CT成像裝置還包括主探測器；所述主探測器設置在所述電路板樣品相對于所述X射線管的另一側上，所述電路板樣品位于所述X射線管和所述主探測器的連線方向上；所述局部高精度探測器回轉座固定連接在所述主探測器的側部。

進一步地，所述X射線CT成像裝置還包括回轉平臺；所述電路板樣品可轉動連接于所述回轉平臺上。

進一步地，所述X射線CT成像裝置還包括X-Y移動平臺，所述X-Y移動平臺包括相互垂直設置的第一滑軌組件和第二滑軌組件；所述第一滑軌組件包括第一滑軌、第一滑塊以及用于驅動所述第一滑塊的第一電機；所述第二滑軌組件包括第二滑軌、第二滑塊以及用于驅動第二滑塊的第二電機；所述第二滑軌固定連接在所述第一滑塊上，所述回轉平臺固定連接在所述第二滑塊上。

進一步地，所述X射線CT成像裝置還包括底座；所述第一滑軌組件固定連接在所述底座上。

進一步地，所述X射線CT成像裝置還包括固定垂直設置在所述底座上的兩個側板；所述X射線管和所述主探測器相對設置在兩個所述側板上。

進一步地，所述X射線CT成像裝置還包括設置在一所述側板上的第三滑軌組件，所述第三滑軌組件包括第三滑軌和第三滑塊，所述X射線管回轉座固定連接在所述第三滑塊上。

進一步地，所述X射線CT成像裝置還包括支撐臂；所述支撐臂包括兩個通過旋轉關節鉸接的桿體，所述支撐臂的一端固定連接在所述第三滑塊的側部，另一端與所述橢圓反射鏡固定連接。

進一步地，所述X射線CT成像裝置還包括設置在一所述側板上的第四滑軌組件，所述第四滑軌組件包括第四滑軌和第四滑塊，所述主探測器固定連接在所述第四滑塊上。

進一步地，所述橢圓反射鏡為多層鍍膜反射鏡。