[實用新型]一種晶圓切割機防震底座

有效

• 申請號: 201922274021.3
• 申請日: 2019-12-18
• 公開（公告）號: CN211389604U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 王小波;王波;田光明
• 申請（專利權）人: 無錫科瑞泰半導體科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種晶圓切割機防震底座，所述晶圓切割機本體的下端連接有支撐座，所述支撐座的下端與底座本體的連接處設有軟墊，所述支撐座的下端兩側分別連接有支撐板，所述支撐板的下端貫穿至底座本體的內部連接有底板，所述底板的上端一側安裝有第一彈簧，所述底板的上端一側還等距連接有若干組第二彈簧，所述第一彈簧的上端均連接至底座本體的內壁上，所述底板的下端還等距連接有若干組第三彈簧；本實用新型將晶圓切割機本體工作過程的震動通過支撐座傳遞到底座本體上，通過在底座本體的內部將這個過程產生的震動吸收，進而使得晶圓切割機本體工作過程機體的穩定性較好，保證其工作質量，延長其使用壽命。

技術領域

本實用新型涉及晶圓切割機防震底座技術領域，具體為一種晶圓切割機防震底座。

背景技術

晶圓切割機又稱為劃片機，主要用于半導體行業中將硅片及各類陶瓷材料的切割成小塊，晶圓切割機通過配備底座、精密直線導軌和高精密主軸等精密部件，保證晶圓切割機在生產中所需要的精度?，F有的晶圓切割機的底座結構固定，這種底座存在防震效果不理想的缺陷，使得晶圓切割機工作時的震動會影響其加工質量，需要進一步改進，為此，我們推出一種晶圓切割機防震底座。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓切割機防震底座，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種晶圓切割機防震底座，包括晶圓切割機本體、底座本體，所述晶圓切割機本體的下端連接有支撐座，所述支撐座的下端與底座本體的連接處設有軟墊，所述支撐座的下端兩側分別連接有支撐板，所述支撐板的下端貫穿至底座本體的內部連接有底板，所述底板的上端一側安裝有第一彈簧，所述底板的上端一側還等距連接有若干組第二彈簧，所述第一彈簧的上端均連接至底座本體的內壁上，所述底板的下端還等距連接有若干組第三彈簧，所述第三彈簧的下端連接至底座本體上，所述底板的內部還安裝有固定板，所述固定板的下端連接有支撐腿，所述第二彈簧的上端連接至支撐腿的下端，所述支撐腿的下端貫穿至底座本體的外部，所述支撐腿的下端一側設有第二滑槽，所述第二滑槽的內部下端分別安裝有若干組第四彈簧，所述底板的一端連接有滑塊，所述底座本體的內部兩側分別設有第一滑槽，所述滑塊滑接于第一滑槽的內部，所述滑塊的下端連接有導桿，所述導桿呈L型設置，所述導桿的一端插接至第二滑槽中連接于第四彈簧的上端。

作為本技術方案的進一步優化，所述支撐座的內部設有緩沖墊，所述緩沖墊為橡膠緩沖墊，所述晶圓切割機本體的外部通過螺栓與支撐座連接。

作為本技術方案的進一步優化，所述底座本體的內部設有用于連接支撐板、底板、第一彈簧、第二彈簧、固定板、支撐腿、第三彈簧的安裝腔。

作為本技術方案的進一步優化，所述底座本體的下端分別設有用于貫穿導桿的開口槽。

作為本技術方案的進一步優化，所述軟墊為記憶棉軟墊，且外部連接有尼龍布包裹層。

作為本技術方案的進一步優化，所述底座本體的上端兩側分別安裝有若干組第五彈簧，所述第五彈簧的上端連接至支撐座的下端。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型將晶圓切割機本體工作過程的震動通過支撐座傳遞到底座本體上，通過在底座本體的內部將這個過程產生的震動吸收，支撐板在底座本體中上下運動，使得底板上端的第一彈簧、第二彈簧上下壓縮并回彈，下端的第三彈簧上下壓縮回彈，使得震動被減弱，并且滑塊在第一滑槽中上下滑動，將震動在運行過程中稀釋，導桿則下壓第四彈簧在第二滑槽中上下移動，支撐腿穩定的固定在地面上，可以通過螺栓固定，固定板與底座本體通過焊接連接，通過軟墊的設置，使得支撐座在底座本體上端震動時得以得到緩沖，減少震動和摩擦，將晶圓切割機本體的震動減小，進而使得晶圓切割機本體工作過程機體的穩定性較好，保證其工作質量，延長其使用壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；