[實用新型]量測裝置

有效

• 申請號: 201922264136.4
• 申請日: 2019-12-17
• 公開（公告）號: CN210894402U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 詹森雄;江家誼
• 申請（專利權）人: 亞智科技股份有限公司
• 主分類號: G01P5/165
• 分類號: G01P5/165;G01B11/16
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 趙夢雯;艾晶

本實用新型有關于一種量測裝置，是一種用以量測風刀結構的出風風速，以及硬體變形量或平整度的量測裝置；本實用新型包括有一量測平臺、一風速量測單元、一形變量測單元，以及一驅動裝置；本實用新型主要藉由自動化的驅動裝置的設計，有效驅動并乘載風速量測單元與形變量測單元的線性滑座進行長度達4000mm的風刀結構的出風風速與硬體形變量的量測動作，確實達到利用自動化量測方式完成風刀結構的風速與形變量均一性的量測等主要優勢。

技術領域

本實用新型有關于一種量測裝置，尤其是指一種用以量測風刀結構的出風風速，以及硬體變形量或平整度的量測裝置。

背景技術

隨著半導體制程技術與光電技術的高度發展，液晶顯示器、個人電腦或筆記型電腦等電子產品的功能也越來越成熟、越來越多樣化，而這些電子產品在制作的過程中，都需要經過多道精密的制作程序以制造出輕薄短小、精密度高的電子產品；常見的液晶顯示面板或半導體元件制程中，玻璃基板或半導體晶圓通常會經過多道濕式制程與其他制程的交替，以制作出最后的液晶顯示面板或半導體元件；然而，在濕式制程與其他制程的轉換中，常會需要將濕式制程所殘留于基板上的水份或藥液徹底排除，否則將會影像后續制程的良率，風刀即是用以吹移基板上藥液的裝置之一，由于上述的液晶顯示面板或半導體元件等產品都是在奈米等級的尺寸，因此，風刀用以吹除藥液的氣體出氣量與角度即被高度重視；因此，如何有效藉由創新的硬體設計，確實達到保有原始排除液體的效果，同時達到利用半自動化或自動化量測的方式完成風刀的風速與形變量均一性的量測，仍是濕式蝕刻機等相關產業開發業者與相關研究人員需持續努力克服與解決的課題。

實用新型內容

本實用新型所解決的技術問題即在于提供一種量測裝置，尤其是指一種用以量測風刀結構的出風風速，以及硬體變形量或平整度的量測裝置，主要藉由自動化的驅動裝置的硬體設計，有效驅動并乘載風速量測單元與形變量測單元的線性滑座進行長度達4000mm的風刀結構的出風風速與硬體形變量的量測動作，確實達到利用半自動化或自動化量測方式完成風刀結構的風速與形變量均一性的量測等主要優勢。

本實用新型所采用的技術手段如下所述。

為了達到上述的實施目的，本實用新型提出一種量測裝置，用以量測一風刀結構的風速與變形量，量測裝置至少包括有一量測平臺，包括有一基座，一設于基座上方的線性移載裝置以及一設于該線性移載裝置的平臺；一風速量測單元，包括有一設置于該線性移載裝置上的該平臺的固定架、一設置于該固定架上端部的風速計、一組設于該固定架上端部并連接該風速計的皮托管，以及一設置于該固定架下端部且抵靠該風刀結構的抵靠件，其中該皮托管的一入氣接口與該風刀結構的一刀口相對設置并相距一距離，以量測該刀口出風的風速值，并將該風速值傳送至該風速計顯示，而該抵靠件藉由一設置于該固定架的調整器調整以頂抵該風刀結構；一形變量測單元，設置于該線性移載裝置上，且位于該風速量測單元的一端部，該形變量測單元包括有一量測件，且該量測件接近該風刀結構的側部并量測其變形量；以及一驅動裝置，驅動該線性移載裝置于該基座上滑動，以帶動該風速量測單元與該形變量測單元量測該風刀結構的風速與變形量。

如上所述的量測裝置，其中該基座上更依序設置有二個支撐件 ，且該支撐件其中的一端上設置有該線性移載裝置，且另一該支撐件上則設置有該風刀結構。

如上所述的量測裝置，其中該支撐件的一上表面進一步設置有一龍銑平面，以提供一水平基準面或一垂直基準面。

如上所述的量測裝置，其中該線性移載裝置藉由至少二滑軌于該龍銑平面上滑動。

如上所述的量測裝置，其中該龍銑平面上進一步設置有一具有一斜平面以固定該風刀結構的角度固定塊。

如上所述的量測裝置，其中該固定架進一步設置有一角度固定器，以調整該皮托管的該入氣接口對準該風刀結構的該刀口的角度。

如上所述的量測裝置，其中該量測件可為量測量表、光學位移計、雷射位移計等其中之一。