[實用新型]一種光纖端面微懸臂梁傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922256115.8
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN211785115U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 熊聰;朱夢;廖常銳;王義平
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳大學(xué)
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 劉愛珍

1.一種光纖端面微懸臂梁傳感器，其特征在于，包括：

光纖，包括纖芯和包層；

懸臂梁結(jié)構(gòu)，通過飛秒激光雙光子聚合技術(shù)聚合在所述光纖的一端面；

所述懸臂梁結(jié)構(gòu)為聚合物結(jié)構(gòu)，懸臂梁結(jié)構(gòu)包括支柱和微懸臂梁；

所述支柱的第一端與光纖端面的包層結(jié)合；所述微懸臂梁的一端固定在支柱的第二端，所述微懸臂梁的另一端懸空在纖芯上方形成懸臂，所述微懸臂梁與光纖的端面平行。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖端面微懸臂梁傳感器，其特征在于，沿垂直于光纖端面的方向，所述懸臂在光纖端面上的投影覆蓋纖芯。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖端面微懸臂梁傳感器，其特征在于，所述傳感器的微懸臂梁的厚度不大于10μm，寬度不大于100μm；所述支柱的高度不大于200μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖端面微懸臂梁傳感器，其特征在于，所述光纖端面微懸臂梁傳感器為氫氣傳感器，所述微懸臂梁表面鍍有氫敏感膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光纖端面微懸臂梁傳感器，其特征在于，所述氫敏感膜為鈀膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光纖端面微懸臂梁傳感器，其特征在于，所述鈀膜的厚度小于1μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光纖端面微懸臂梁傳感器，其特征在于，所述鈀膜的厚度為50~150nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光纖端面微懸臂梁傳感器，其特征在于，所述氫氣傳感器的微懸臂梁的厚度不大于5μm，寬度范圍為5~30μm；所述支柱的高度為20~80μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖端面微懸臂梁傳感器，其特征在于，所述傳感器為溫度傳感器、折射率傳感器、濕度傳感器、振動信號傳感器、磁場傳感器、生物傳感器中的任意一種。