[實用新型]一種適用于多規格工件架的大盤

有效

• 申請號: 201922254139.X
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN211445890U
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 梁海洋;吳偉亮;馮剛;鄧永琪;汪毅;李章雄
• 申請（專利權）人: 蘇州星藍納米技術有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 江蘇昆成律師事務所 32281
• 代理人: 劉尚軻

為了解決現有的生產過程中可能會使用到多種規格的工件架，從而引起的頻換定制大盤導致生產成本的占地面積提高的問題，本實用新型提出一種適用于多規格工件架的大盤，其包括：底盤1、外圈齒輪2和外圈工件架3，底盤1的上表面上固定有多個外圈齒輪2，多個外圈齒輪2的中心距離底盤1的中心的距離相等，外圈工件架3的底部固定在外圈齒輪2的上表面，外圈齒輪2的中心與電機的電機軸連接，從而使得外圈齒輪2被電機帶動旋轉，其特征在于：還包括內圈齒輪5和內圈工件架6，內圈齒輪5固定在底盤1的上表面上，內圈工件架6固定在內圈齒輪5的上表面。

技術領域

本實用新型屬于表面處理技術領域，較為具體的，涉及到一種適用于多規格工件架的大盤。

背景技術

在PVD真空鍍膜技術領域，需要將待鍍膜的加工件放置在工件架上，工件架固定在大盤上，大盤上的每一個工件架都能夠發生自轉，大盤的底部設有轉軸，轉軸可以插入真空鍍膜機的底座，并在真空鍍膜機的底座發生公轉，大盤在整個PVD真空鍍膜的過程中顯得尤為重要，鍍膜時涂層的均勻性跟大盤的公轉和工件架的自轉關聯性極大。目前的大盤的尺寸固定，并且大盤上的工件架的中心位置也是固定的，這樣就使得相鄰的工件架之間的距離收到限制，這樣就使得同一個大盤上能夠適應的工件架的最大直徑為相鄰的兩個工件架的中心位置之間的距離，如果有超出相鄰的兩個工件架的中心位置的距離的工件架想要放置在大盤上使用，則需要更換新的定制大盤。但是在實際生產過程中，如果每生產一種不同規格的工件，就需要去更換一種規格的大盤，而且不同規格的大盤在閑置時還需要單獨的固定座去進行固定，這樣不但生產成本會提高很多，同時占地面積也會提高。

發明內容

有鑒于此，為了解決現有的生產過程中可能會使用到多種規格的工件架，從而引起的頻換定制大盤導致生產成本的占地面積提高的問題，本發明提出一種適用于多規格工件架的大盤，其包括底盤1、外圈齒輪2、外圈工件架3 和上部固定支架4，底盤1的上表面上固定有多個外圈齒輪2，外圈工件架3 的底部固定在外圈齒輪2的上表面，外圈齒輪2的中心與電機的電機軸連接，從而使得外圈齒輪2被電機帶動旋轉，外圈工件架3的上部與固定支架4活動連接，使得外圈工件架3的旋轉運動更加穩定；所述的適用于多規格工件架的大盤，還包括內圈齒輪5和內圈工件架6，內圈工件架6固定在內圈齒輪 5的上表面上，內圈齒輪5固定在底盤1的上表面，且內圈齒輪5與外圈齒輪2嚙合，這樣使得外圈齒輪2在發生自旋轉時能夠帶動外圈齒輪2發生旋轉，從而帶動內圈工件架6發生旋轉，這樣可以改善相鄰的兩個內圈齒輪5之間的距離，從而可以使得大盤能夠適應多種規格的工件架，減少了生產成本和多種規格的定制大盤的占地空間。

一種適用于多規格工件架的大盤，其包括：底盤1、外圈齒輪2和外圈工件架3，底盤1的上表面上固定有多個外圈齒輪2，多個外圈齒輪2的中心距離底盤1的中心的距離相等，外圈工件架3的底部固定在外圈齒輪2的上表面，外圈齒輪2的中心與電機的電機軸連接，從而使得外圈齒輪2被電機帶動旋轉，其特征在于：還包括內圈齒輪5和內圈工件架6，內圈齒輪5固定在底盤1的上表面上，內圈工件架6固定在內圈齒輪5的上表面。

進一步的，多個外圈齒輪2的數量為4～8個。

進一步的，內圈齒輪5包括一組或多組內圈齒輪5，當內圈齒輪5為一組時，所述的一組內圈齒輪5的中心位于同一圓周上，當內圈齒輪5為多組時，則多組內圈齒輪5的中心位于不同的圓周上，且內部的內圈齒輪5可以與外圈齒輪2嚙合，或者中心位于同一較小直徑圓周的內圈齒輪與中心位于同一較大直徑周圈的內圈齒輪嚙合。

進一步的，內圈齒輪5的數量＜中心位于同一圓周的外圈齒輪2的數量。

進一步的，所述的適用于多規格工件架的大盤還包括上部固定支架4，外圈工件架3的上部與固定支架4活動連接，內圈工件架6的上部與固定支架4活動連接，這樣可以使得內圈工件架6和外圈工件架3的自轉更加穩定。

進一步的，底盤1的直徑為50～80cm。