[實用新型]一種改進型磷擴散爐

有效

• 申請號: 201922245564.2
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN212128340U
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 孫錦國;戴亮亮;柯雨馨;梁興芳
• 申請（專利權）人: 陽光中科（福建）能源股份有限公司
• 主分類號: C30B31/08
• 分類號: C30B31/08;C30B31/16
• 代理公司: 泉州勁翔專利事務所(普通合伙) 35216
• 代理人: 林楓

1.一種改進型磷擴散爐，其特征在于：包括：

擴散爐爐體，所述擴散爐爐體的頭部設置有爐門，所述擴散爐爐體的內部設置有爐管；

氣源裝置，其與擴散爐爐體連通且為擴散爐爐體提供氣源；

尾氣收集裝置，其與擴散爐爐體連通，以收集擴散爐爐體內的尾氣；

其中，所述氣源裝置以不同氣體流速的多個氣路為擴散爐爐體提供氣源。

2.根據權利要求1所述的改進型磷擴散爐，其特征在于：所述氣源裝置包括磷源瓶、導氣管、小流量氮氣導入管、大流量氮氣和氧氣導入管，所述導氣管的首端與磷源瓶相通，所述導氣管的末端與擴散爐爐體的爐口連通，所述小流量氮氣導入管的首端接通外界氣體，所述小流量氮氣導入管的末端與磷源瓶相通，所述大流量氮氣和氧氣導入管的首端接通外界氣體，所述大流量氮氣和氧氣導入管的末端與導氣管連通，其中，小流量氮氣導入管、磷源瓶、導氣管構成第一氣路，小流量氮氣導入管、磷源瓶、導氣管、大流量氮氣和氧氣導入管構成第二氣路，第一氣路的氣體流速低于第二氣路。

3.根據權利要求1所述的改進型磷擴散爐，其特征在于：還包括連接到尾氣收集裝置后端的真空泵，用于抽取擴散爐爐體內的氣體，使得氣體朝尾氣收集裝置方向流動。

4.根據權利要求1或2所述的改進型磷擴散爐，其特征在于：還包括爐體保護裝置，所述爐體保護裝置包括與爐口相通的爐口氮氣導入管。

5.根據權利要求1或2所述的改進型磷擴散爐，其特征在于：還包括爐體保護裝置，所述爐體保護裝置包括氮氣導入管，所述氮氣導入管包括與爐口相通的爐口氮氣導入管、與尾氣收集裝置相通的爐尾氮氣導入管。

6.根據權利要求5所述的改進型磷擴散爐，其特征在于：所述爐尾氮氣導入管上設置有水源瓶。

7.根據權利要求5所述的改進型磷擴散爐，其特征在于：所述氮氣導入管、爐口氮氣導入管、爐尾氮氣導入管之間通過三通閥門連接。