[實(shí)用新型]一種化學(xué)氣相沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922245061.5
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN211872085U
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃啟忠;胡祥龍;蔡昌海;周岳兵;劉慶敖
• 申請（專利權(quán)）人: 中南大學(xué);湖南頂立科技有限公司;安徽弘昌新材料有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11489
• 代理人: 鄭久興

1.一種化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，包括：

殼體(1)，所述殼體(1)內(nèi)具有沉積腔(11)；

第一電極(2)，所述第一電極(2)伸入所述沉積腔(11)內(nèi)；

第二電極(3)，所述第二電極(3)伸入所述沉積腔(11)內(nèi)，所述第二電極(3)與所述第一電極(2)相對設(shè)置；

所述第一電極(2)和所述第二電極(3)用于使電流流經(jīng)需要?dú)庀喑练e的襯底(10)，產(chǎn)生熱量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，還包括：

轉(zhuǎn)軸(4)，所述轉(zhuǎn)軸(4)用于帶動所述襯底(10)轉(zhuǎn)動，所述轉(zhuǎn)軸(4)的其中一端與電機(jī)(41)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，

所述轉(zhuǎn)軸(4)與所述殼體(1)連接處設(shè)置有動密封部(5)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，

所述殼體(1)還具有進(jìn)氣口(12)，所述進(jìn)氣口(12)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸(4)與所述殼體(1)的連接處；

所述殼體(1)還具有排氣口(13)，所述排氣口(13)設(shè)置在所述殼體(1)上與所述進(jìn)氣口(12)相對的一面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，

所述第一電極(2)與所述殼體(1)之間設(shè)置有彈簧(6)，所述彈簧(6)用于使所述第一電極(2)向所述第二電極(3)保持運(yùn)動；和/或

所述第二電極(3)與所述殼體(1)之間設(shè)置有彈簧(6)，所述彈簧(6)用于使所述第二電極(3)向所述第一電極(2)保持運(yùn)動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，

所述電極與所述殼體(1)連接處設(shè)置有動密封部(5)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，

所述電極在所述殼體(1)內(nèi)部的端點(diǎn)設(shè)置有柔性導(dǎo)體墊(7)，所述柔性導(dǎo)體墊(7)用于防止所述襯底(10)磨損。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，

所述殼體(1)的內(nèi)部設(shè)置有保溫層(14)，所述保溫層(14)用于阻擋所述殼體(1)內(nèi)外熱量傳遞。

9.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，還包括：

絕緣部(8)，所述絕緣部(8)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸(4)上，用于使所述襯底(10)與所述電機(jī)(41)之間絕緣。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，還包括：

托盤(9)，所述托盤(9)與所述轉(zhuǎn)軸(4)固定連接，所述電機(jī)(41)通過所述轉(zhuǎn)軸(4)帶動所述托盤(9)自轉(zhuǎn)。