[實(shí)用新型]一種高純氣體用全自動(dòng)供氣系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201922237030.5 | 申請(qǐng)日： | 2019-12-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN211315795U | 公開（公告）日： | 2020-08-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡躍鋼;金旭舟;龔如意 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 捷銳企業(yè)（上海）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F17D1/02 | 分類號(hào)： | F17D1/02 |
| 代理公司： | 上海天翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31224 | 代理人： | 劉常寶 |
| 地址： | 201600 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 高純 體用 全自動(dòng) 供氣 系統(tǒng) | ||
1.一種高純氣體用全自動(dòng)供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述高純氣體用全自動(dòng)供氣系統(tǒng)包括：
左側(cè)供氣結(jié)構(gòu)；
右側(cè)供氣結(jié)構(gòu)；
左側(cè)隔膜DOM減壓閥，所述左側(cè)隔膜DOM減壓閥與左側(cè)供氣結(jié)構(gòu)連接；
右側(cè)隔膜DOM減壓閥，所述右側(cè)隔膜DOM減壓閥與右側(cè)供氣結(jié)構(gòu)連接；
T型雙單向閥，所述T型雙單向閥左側(cè)管路與左側(cè)隔膜DOM減壓閥連接，所述T型雙單向閥右側(cè)管路與右側(cè)隔膜DOM減壓閥連接，所述T型雙單向閥的中間管路上依次設(shè)有中間管路安全閥、中間壓力表、出口減壓閥、出口壓力表和出口安全閥；
右側(cè)先導(dǎo)電磁閥，所述右側(cè)先導(dǎo)電磁閥與右側(cè)隔膜DOM減壓閥連接；
左側(cè)先導(dǎo)電磁閥，所述左側(cè)先導(dǎo)電磁閥與左側(cè)隔膜DOM減壓閥連接；
電控系統(tǒng)，所述電控系統(tǒng)分別連接右側(cè)先導(dǎo)電磁閥、左側(cè)先導(dǎo)電磁閥、左側(cè)供氣結(jié)構(gòu)和右側(cè)供氣結(jié)構(gòu)；
出氣壓力發(fā)訊裝置，所述出氣壓力發(fā)訊裝置分別與出口安全閥和電控系統(tǒng)連接；
控制回路截止閥，所述控制回路截止閥與出口壓力表連接；
控制回路減壓閥，所述控制回路減壓閥與控制回路截止閥連接；
外部氣動(dòng)控制氣源，所述外部氣動(dòng)控制氣源分別連接控制回路減壓閥、右側(cè)先導(dǎo)電磁閥和左側(cè)先導(dǎo)電磁閥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氣體用全自動(dòng)供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述左側(cè)供氣結(jié)構(gòu)包括若干個(gè)左側(cè)壓縮氣體氣瓶和依次連接的左側(cè)截止閥、左側(cè)進(jìn)口壓力表、左側(cè)壓力發(fā)訊裝置，所述左側(cè)截止閥分別連接各個(gè)左側(cè)壓縮氣體氣瓶，所述左側(cè)壓力發(fā)訊裝置分別與電控系統(tǒng)和左側(cè)隔膜DOM減壓閥連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氣體用全自動(dòng)供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述右側(cè)供氣結(jié)構(gòu)包括若干個(gè)右側(cè)壓縮氣體氣瓶和依次連接的右側(cè)截止閥、右側(cè)進(jìn)口壓力表、右側(cè)壓力發(fā)訊裝置，所述右側(cè)截止閥分別連接各個(gè)右側(cè)壓縮氣體氣瓶，所述右側(cè)壓力發(fā)訊裝置分別與電控系統(tǒng)和右側(cè)隔膜DOM減壓閥連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氣體用全自動(dòng)供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述左側(cè)隔膜DOM減壓閥為活塞加隔膜的DOM減壓閥或雙隔膜的DOM減壓閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純氣體用全自動(dòng)供氣系統(tǒng)，其特征在于，所述右側(cè)隔膜DOM減壓閥為活塞加隔膜的DOM減壓閥或雙隔膜的DOM減壓閥。
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