[實(shí)用新型]一種單層多自由度氣靜壓納米定位平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922236464.3
• 申請(qǐng)日: 2019-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN210896632U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 文杰;張瑩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G12B5/00
• 分類號(hào): G12B5/00;B25B11/00;B81C1/00
• 代理公司: 天津協(xié)眾信創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 12230
• 代理人: 王力強(qiáng)

本實(shí)用新型涉及納米定位技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種單層多自由度氣靜壓納米定位平臺(tái)，包括工作臺(tái)，工作臺(tái)的上方設(shè)有工作箱，工作臺(tái)的上端左右兩側(cè)的前后兩端均固定連接有第一支撐腿，四個(gè)第一支撐腿的上端分別與工作箱的下端左右兩側(cè)的前后兩端固定連接，工作箱的內(nèi)部設(shè)有定位機(jī)構(gòu)，工作臺(tái)連接有水冷機(jī)構(gòu)并通過(guò)水冷機(jī)構(gòu)與工作箱連接，水冷機(jī)構(gòu)包括蓄水箱、水泵及風(fēng)機(jī)，蓄水箱的下端與工作箱的上端后側(cè)固定連接，蓄水箱的內(nèi)部固定設(shè)有隔板并通過(guò)隔板分為冷卻腔及蓄水腔。本實(shí)用新型能夠有效對(duì)壓電致動(dòng)器進(jìn)行降溫，防止壓電致動(dòng)器發(fā)送溫度形變，影響定位結(jié)果誤差，同時(shí)便于人們快速移動(dòng)工作平臺(tái)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及納米定位技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種單層多自由度氣靜壓納米定位平臺(tái)。

背景技術(shù)

目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、生命科學(xué)領(lǐng)域、光電系統(tǒng)、顯微機(jī)構(gòu)如STM、 AFM等方面，皆朝微下化、精密化的方向發(fā)展，因此，對(duì)于微米甚至是納米級(jí)的定位裝置需求量日增。

目前，現(xiàn)有的納米定位平臺(tái)，存在多種類型，其中單層多自由度氣靜壓納米定位平臺(tái)較為全面及精準(zhǔn)，但是在該類納米定位平臺(tái)的壓電致動(dòng)器會(huì)存在溫升形變的問(wèn)題，影響對(duì)位移結(jié)果的準(zhǔn)確性，因此，提出一種單層多自由度氣靜壓納米定位平臺(tái)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的納米定位平臺(tái)，存在多種類型，其中單層多自由度氣靜壓納米定位平臺(tái)較為全面及精準(zhǔn)，但是在該類納米定位平臺(tái)的壓電致動(dòng)器會(huì)存在溫升形變的問(wèn)題，影響對(duì)位移結(jié)果的準(zhǔn)確性的問(wèn)題，而提出的一種單層多自由度氣靜壓納米定位平臺(tái)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種單層多自由度氣靜壓納米定位平臺(tái)，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的上方設(shè)有工作箱，所述工作臺(tái)的上端左右兩側(cè)的前后兩端均固定連接有第一支撐腿，四個(gè)所述第一支撐腿的上端分別與工作箱的下端左右兩側(cè)的前后兩端固定連接，所述工作箱的內(nèi)部設(shè)有定位機(jī)構(gòu)，所述工作臺(tái)連接有水冷機(jī)構(gòu)并通過(guò)水冷機(jī)構(gòu)與工作箱連接，所述水冷機(jī)構(gòu)包括蓄水箱、水泵及風(fēng)機(jī)，所述蓄水箱的下端與工作箱的上端后側(cè)固定連接，所述蓄水箱的內(nèi)部固定設(shè)有隔板并通過(guò)隔板分為冷卻腔及蓄水腔，所述蓄水腔的右側(cè)壁固定連接有進(jìn)水管，所述水泵位于蓄水腔的內(nèi)部固定設(shè)置，且水泵的輸出端固定連接有輸水管，所述工作箱的箱壁內(nèi)部開設(shè)有矩形腔體，所述輸水管遠(yuǎn)離水泵的一端依次貫穿蓄水腔的側(cè)壁及工作箱的側(cè)壁并延伸至矩形腔體內(nèi)部，所述矩形腔體的下側(cè)壁固定連接有回流管，所述回流管遠(yuǎn)離矩形腔體的一端依次貫穿冷卻腔的側(cè)壁及隔板的側(cè)壁并延伸至蓄水腔內(nèi)部，所述風(fēng)機(jī)位于冷卻腔內(nèi)部固定設(shè)置，且冷卻腔的左右側(cè)壁均開設(shè)有通風(fēng)口，所述工作臺(tái)的下端四角處均固定連接有第二支撐腿，且同側(cè)兩個(gè)第二支撐腿共同連接有移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，每組所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)螺紋桿、兩個(gè)萬(wàn)向輪、兩個(gè)活動(dòng)板及兩組第三支撐腿，兩個(gè)所述第二支撐腿的下端均開設(shè)有與萬(wàn)向輪相匹配的收納槽，兩個(gè)所述收納槽的左右側(cè)壁均開設(shè)有凹槽，所述螺紋桿通過(guò)第一滾動(dòng)軸承與其中一個(gè)凹槽的側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一個(gè)所述凹槽的內(nèi)部固定設(shè)有固定桿，所述活動(dòng)板的上端右側(cè)通過(guò)通孔與固定桿的桿壁滑動(dòng)連接，所述活動(dòng)板的上端左側(cè)通過(guò)螺紋孔與螺紋桿的桿壁螺紋連接，所述活動(dòng)板的下端連接有減震組件并通過(guò)減震組件與萬(wàn)向輪連接，所述第二支撐腿的內(nèi)部開設(shè)有與螺紋桿位置相對(duì)應(yīng)的第一腔體，且螺紋桿的上端延伸至第一腔體內(nèi)部，所述螺紋桿位于第一腔體內(nèi)部的一端固定套接有蝸輪，所述第一腔體的側(cè)壁通過(guò)第二滾動(dòng)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接有蝸桿，且蝸桿延伸至外部，所述蝸輪與蝸桿相嚙合連接，兩個(gè)所述蝸桿的桿壁位于第一腔體外部的一端均固定套接有皮帶輪，兩個(gè)所述皮帶輪通過(guò)皮帶傳動(dòng)連接，每組兩個(gè)所述第三支撐腿的水平部相向一端分別與第二支撐腿的左右側(cè)壁下端固定連接。

優(yōu)選的，每個(gè)所述減震組件包括兩個(gè)滑桿及兩個(gè)減震彈簧，所述萬(wàn)向輪的上端固定連接有連接板，兩個(gè)所述滑桿的桿壁均通過(guò)滑孔分別與連接板的上端左右兩側(cè)滑動(dòng)連接，兩個(gè)所述滑桿的上端分別與活動(dòng)板的下端左右兩側(cè)固定連接，所述減震彈簧的上下兩端分別與活動(dòng)板的下端及連接板的上端固定連接，且減震彈簧與滑桿的桿壁活動(dòng)套接。