[實用新型]一種電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置

有效

• 申請號: 201922236117.0
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN210575823U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 張凱;胡千一
• 申請（專利權）人: 江蘇藍安信息科技有限公司
• 主分類號: H01J41/12
• 分類號: H01J41/12
• 代理公司: 南通毅帆知識產權代理事務所(普通合伙) 32386
• 代理人: 韓冬

本實用新型公開了一種電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之間固定安裝有離子泵泵體，所述離子泵泵體左端和右端軍固定安裝有一組溫度保護機構，所述上固定板上端中部固定安裝有進氣口，且進氣口下端與離子泵泵體內部相通，所述進氣口上端固定連接有真空法蘭，所述進氣口外表面左部上側固定安裝有陽極引線。本實用新型所述的一種電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，通過設置溫度保護機構，當離子泵泵體溫度超過控制器設置的最高溫度時，控制器控制切斷開關將離子泵泵體的電源切斷，保護離子泵泵體，通過設置循環降溫裝置，在離子泵泵體運行時吸收其產生的溫度。

技術領域

本實用新型涉及加速離子泵設備用品領域，特別涉及一種電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置。

背景技術

濺射離子泵是超高真空獲得系統中使用最多的一種真空泵，特點是清潔無油、極限真空度高、運行過程中無機械振動，其原理是利用高壓電場將氣體分子電離，帶正電的氣體離子在電場和磁場的作用下螺旋加速運動撞擊在鈦板上發生濺射并被吸收，電子加速器的運行離不開真空技術，其核心部件加速管是一個高真空部件，其真空的獲得和維護都依賴于離子泵，并且加速管工作穩定需要恒溫水系統，需控制加速管溫度變化范圍±0.5℃，正常情況下，離子泵的殼體溫度與室溫基本一致，如果離子泵殼體溫度逐漸高于室溫，說明其負載加大，真空有泄露，如果溫度過高，應立即關斷離子泵電源以免對離子泵造成破壞，離子泵的殼體溫度可以直接反映離子泵的工作狀態。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，可以有效解決背景技術中的問題。

為實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為：

一種電子加速器濺射離子泵的溫度保護裝置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之間固定安裝有離子泵泵體，所述離子泵泵體左端和右端軍固定安裝有一組溫度保護機構，所述上固定板上端中部固定安裝有進氣口，且進氣口下端與離子泵泵體內部相通，所述進氣口上端固定連接有真空法蘭，所述進氣口外表面左部上側固定安裝有陽極引線。

優選的，所述溫度保護機構包括保護外殼，所述保護外殼內腔靠近離子泵泵體的一端側壁中部和四側分別固定安裝有溫度感應器和循環降溫裝置，所述保護外殼內腔底壁中部固定安裝有控制器，所述控制器與溫度感應器電性連接，所述控制器上端中部固定安裝有切斷開關，所述切斷開關與離子泵泵體電性連接，所述溫度保護機構通過保護外殼與離子泵泵體固定連接在一起。

優選的，所述循環降溫裝置包括儲水倉，所述儲水倉左右兩側分別固定安裝有循環泵機和冷凝器，所述循環泵機和冷凝器下端共同固定連接有循環水管，且述循環泵機和冷凝器均與控制器電性連接，所述循環降溫裝置通過儲水倉固定安裝在保護外殼的內腔側壁上。

優選的，所述離子泵泵體包括離子泵外殼，所述離子泵外殼內腔底壁中部固定安裝有陽極組件，所述離子泵外殼內腔左壁和右壁均固定連接有一組陰極板，所述離子泵外殼外部左端和右端軍固定連接有一組永磁體，所述永磁體遠離離子泵外殼的一端均固定連接有一組軟鐵，所述離子泵泵體通過離子泵外殼分別與下固定板和上固定板固定連接在一起。

優選的，所述陽極引線右端與進氣口內腔相通，且陽極引線下端穿插過上固定板與離子泵泵體內部相連通。

優選的，所述下固定板前端中部固定連接有固定豎板，所述固定豎板通過螺栓將上固定板與下固定板固定連接在一起。

與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：

1、通過設置溫度保護機構，在溫度保護機構中設置有保護外殼、溫度感應器、循環降溫裝置、控制器和切斷開關，溫度感應器感應離子泵泵體的溫度，將實時溫度傳達給控制器，控制器設置有相應的溫度范圍，當溫度感應器傳達的溫度較高時，控制器控制循環降溫裝置給離子泵泵體進行降溫，當離子泵泵體溫度超過控制器設置的最高溫度時，控制器控制切斷開關將離子泵泵體的電源切斷，保護離子泵泵體。