[實(shí)用新型]一種派瑞林鍍膜系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922231619.4
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN211227299U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 欽曄
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州凱瑞納米科技有限公司
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31251
• 代理人: 張惠明

1.一種派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，包括：

依次連通的預(yù)熱料倉、定量給料結(jié)構(gòu)、加熱倉、裂解倉、沉積倉、低溫冷阱與真空泵組；

膜厚探測裝置，所述膜厚探測裝置設(shè)置在所述沉積倉處；

其中，定量給料結(jié)構(gòu)包括第一控制閥，所述第一控制閥用于切斷或連通加熱倉與預(yù)熱料倉；

所述預(yù)熱料倉通過支管與所述裂解倉連通，所述支管上設(shè)有第二控制閥；

所述加熱倉處設(shè)置第一溫度傳感器；

所述裂解倉處設(shè)置第二溫度傳感器；

所述沉積倉處設(shè)置第一壓力真空檢測儀；

所述真空泵組處設(shè)置第二壓力真空檢測儀

控制器，所述控制器分別與所述定量給料結(jié)構(gòu)、膜厚探測裝置、第一溫度傳感器、第二溫度傳感器、第一壓力真空檢測儀、第二壓力真空檢測儀、低溫冷阱與真空泵組通訊連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：

所述定量給料結(jié)構(gòu)包括料管、設(shè)置在所述料管內(nèi)的螺旋桿以及帶動所述螺旋桿繞自身軸線轉(zhuǎn)動的驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置與所述控制器通訊連接；

所述螺旋桿的軸線與料管的軸線重合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：

所述螺旋桿的軸線垂直于所述加熱倉所在平面設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：

所述螺旋桿的軸線與所述加熱倉所在平面的夾角呈30°～60°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：

所述支管與預(yù)熱料倉的頂部連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：

所述第一壓力真空檢測儀設(shè)置在所述沉積倉的側(cè)壁上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：

所述膜厚探測裝置包括膜厚探測儀與檢測玻璃片，所述膜厚探測儀設(shè)置在所述沉積倉的頂部，且所述沉積倉的頂部對應(yīng)所述膜厚探測儀處開設(shè)有透視孔，所述透視孔處密封設(shè)置有透明玻璃片，所述檢測玻璃片設(shè)置在所述沉積倉的內(nèi)部，且所述檢測玻璃片位于所述膜厚探測儀的下方。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：

所述第一控制閥與第二控制閥均為球閥。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：

所述預(yù)熱料倉上開設(shè)有加料口，所述加料口處轉(zhuǎn)動設(shè)置有加料門，所述加料門處設(shè)有密封環(huán)；

當(dāng)所述加料門蓋合在所述加料口上時，所述密封環(huán)位于所述加料門與加料口之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的派瑞林鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：

所述預(yù)熱料倉的外壁包覆有加熱片，所述加熱片連接加熱絲，所述加熱絲通電對所述加熱片進(jìn)行加熱。