[實用新型]線切機過線輪調節裝置

有效

• 申請號: 201922210038.2
• 申請日: 2019-12-11
• 公開（公告）號: CN211616189U
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 孫玉虎;張順;高穩
• 申請（專利權）人: 晶海洋半導體材料（東海）有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B24B27/06
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

本實用新型提供一種線切機過線輪調節裝置，包括：長條形滑軌，所述長條形滑軌橫向設置；橫移滑塊，所述橫移滑塊套設在所述長條形滑軌上且能夠沿所述長條形滑軌滑動，所述橫移滑塊的一側設有螺紋孔，所述橫移滑塊用于帶動過線輪沿著所述長條形滑軌移動；緊固機構，所述緊固機構包括螺栓和壓塊，所述壓塊具有與所述長條形滑軌的外側表面相配合的卡槽，所述螺栓螺合在所述橫移滑塊的螺紋孔內且其一端穿出所述橫移滑塊并與所述壓塊相連以將所述壓塊抵接在所述長條形滑軌上，所述壓塊的卡槽的至少一側表面形成為矩形。根據本實用新型的線切機過線輪調節裝置，能夠增加過線輪調節的穩定性，保證過線輪的自由快捷移動調整定位，提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及硅片制造領域，具體涉及一種線切機過線輪調節裝置。

背景技術

近年來，硅片切割行業傳統的砂漿切割逐漸被金剛線切割所替代，其主要切割輔材金鋼線線徑由70微米逐步下降到50微米甚至更細，因此對硅棒加工工藝和設備提出了更高的要求。

現有的線切機過線輪調節裝置，在使用過程中，存在以下問題：

1)過線輪上鋼線的抖動；

2)過線輪角度調整不精準；

3)過線輪行程偏短。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供一種線切機過線輪調節裝置，以解決過線輪上鋼線抖動、過線輪角度調整不精準、及過線輪行程偏短的問題。

為解決上述技術問題，根據實用新型提供一種線切機過線輪調節裝置，包括：

長條形滑軌，所述長條形滑軌橫向設置；

橫移滑塊，所述橫移滑塊套設在所述長條形滑軌上且能夠沿所述長條形滑軌滑動，所述橫移滑塊的一側設有螺紋孔，所述橫移滑塊用于帶動過線輪沿著所述長條形滑軌移動；

緊固機構，所述緊固機構包括螺栓和壓塊，所述壓塊具有與所述長條形滑軌的外側表面相抵接的卡槽，所述螺栓螺合在所述橫移滑塊的螺紋孔內且其一端穿出所述橫移滑塊并與所述壓塊相連以將所述壓塊抵接在所述長條形滑軌上，所述壓塊的卡槽的至少一側表面形成為矩形。

進一步地，所述橫移滑塊包括相對設置的第一滑塊和第二滑塊，所述第一滑塊和所述第二滑塊通過緊固件連接，所述第二滑塊上設有所述螺紋孔以與所述緊固機構相連接。

進一步地，所述壓塊上形成有徑向定位部，所述徑向定位部與所述第二滑塊相配合，所述徑向定位部用于對所述壓塊進行徑向定位。

進一步地，所述徑向定位部設置在所述壓塊的下部，所述徑向定位部形成為平臺。

進一步地，所述螺栓為M10螺栓。

進一步地，還包括：支架，所述支架上端與所述橫移滑塊相連，且所述支架的下端用于安裝所述過線輪。

進一步地，所述支架包括側板，所述線切機過線輪調節裝置還包括：

調節板，所述調節板套設在所述長條形滑軌上且其端部與所述橫移滑塊相連，所述調節板上形成有弧形調節槽，所述支架的側板可移動地連接在所述弧形調節槽中。

進一步地，所述支架的側板上設有螺桿，所述螺桿穿過所述弧形調整槽且其另一端配合有螺母。

進一步地，所述支架的側板還形成有安裝軸，相應地所述調節板上形成有安裝孔，所述安裝軸配合在所述安裝孔內，所述側板能夠以所述安裝軸為中心進行轉動。

進一步地，還包括定位塊，所述定位塊位于所述第一滑塊內且配合在所述長條形滑軌外側，所述定位塊與所述調節板相連，所述定位塊用于所述調節板的定位。

本實用新型的上述技術方案至少具有如下有益效果之一：