[實用新型]一種集成式單晶生長爐有效
| 申請號： | 201922207809.2 | 申請日： | 2019-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN211079412U | 公開（公告）日： | 2020-07-24 |
| 發明（設計）人： | 劉欣宇;袁振洲 | 申請（專利權）人： | 江蘇超芯星半導體有限公司 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人： | 黃啟兵 |
| 地址： | 225000 江蘇省揚州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 集成 式單晶 生長 | ||
【權利要求書】：
1.一種集成式單晶生長爐，其特征在于：包括后級真空泵以及多個腔體，每個所述腔體均分別設置有抽氣系統，所述抽氣系統包括與所述腔體連通的抽氣管以及前級真空泵，所述前級真空泵用以排出所述腔體和抽氣管內的氣體，每個所述腔體的抽氣管分別與所述后級真空泵連通，所述后級真空泵用以排空所述腔體和抽氣管內的氣體。
2.根據權利要求1所述的集成式單晶生長爐，其特征在于：每個所述腔體均分別設置有進氣系統，所述進氣系統用以向所述腔體內通入氣體。
3.根據權利要求1所述的集成式單晶生長爐，其特征在于：所述抽氣管與所述后級真空泵之間設置有連通管，所述抽氣管和所述后級真空泵分別與所述連通管連通，所述后級真空泵還用以排空所述連通管內的氣體。
4.根據權利要求3所述的集成式單晶生長爐，其特征在于：還包括控制器，所述抽氣管與所述連通管連通處分別設置有電磁閥，所述電磁閥、前級真空泵和后級真空泵分別與所述控制器電連接并受所述控制器控制。
5.根據權利要求4所述的集成式單晶生長爐，其特征在于：所述連通管內設置有真空計，所述真空計與所述控制器電連接。
6.根據權利要求4所述的集成式單晶生長爐，其特征在于：還包括與所述連通管連通的附加前級真空泵，所述附加前級真空泵用以排出所述連通管內的氣體。
7.根據權利要求1所述的集成式單晶生長爐，其特征在于：所述腔體設置有加熱體。
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