[實用新型]一種水平光伏擴散自動化設備

有效

• 申請號: 201922196287.0
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN210692565U
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 林佳繼;龐愛鎖;馬力
• 申請（專利權）人: 拉普拉斯（無錫）半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬

1.一種水平光伏擴散自動化設備，包括第一工作模塊(1)和第二工作模塊(2)，其特征在于，所述第一工作模塊(1)包括第一框架(11)、對接輸送機(3)和石英舟搬運機構(4)，所述對接輸送機(3)數量為2，所述兩個對接輸送機(3)在第一框架(11)上對稱設置，所述石英舟搬運機構(4)位于兩個對接輸送機(3)之間，所述對接輸送機(3)和石英舟搬運機構(4)均設置于第一框架(11)上，所述第二工作模塊(2)包括石英舟周轉機構(5)、分合片機構(6)、取方阻片機構(7)和裝卸料機構(8)，所述石英舟周轉機構(5)位于第一工作模塊(1)和第二工作模塊(2)之間，所述分合片機構(6)呈倒U型設置在石英舟周轉機構(5)上方，所述取方阻片機構(7)呈倒U型與分合片機構(6)平行設置，所述裝卸料機構(8)數量為2，所述兩個裝卸料機構(8)對稱設置在石英舟周轉機構(5)的兩側，所述石英舟周轉機構(5)、分合片機構(6)、取方阻片機構(7)和裝卸料機構(8)均設置于第二框架(21)上。

2.根據權利要求1所述一種水平光伏擴散自動化設備，其特征在于，所述取方阻片機構(7)包括取方阻片機構支架(71)、取方阻片機構左右移動滑軌(72)、取方阻片機構升降組件(73)、取方阻片機構左右移動齒輪齒條(74)、取方阻片機構左右移動電機(75)、取方阻片機構前后移動組件(76)和吸盤(77)，所述取方阻片機構支架(71)與第二框架(21)連接，所述取方阻片機構左右移動滑軌(72)設置于取方阻片機構支架(71)上部，所述取方阻片機構升降組件(73)通過取方阻片機構左右移動齒輪齒條(74)與取方阻片機構左右移動滑軌(72)連接，所述取方阻片機構左右移動電機(75)與取方阻片機構左右移動齒輪齒條(74)連接，所述取方阻片機構前后移動組件(76)設置于取方阻片機構升降組件(73)下部，所述吸盤(77)設置于取方阻片機構前后移動組件(76)下部。

3.根據權利要求1所述的一種水平光伏擴散自動化設備，其特征在于，所述對接輸送機(3)包括輸送機升降組件(31)、第一輸送機(32)、第二輸送機(33)和輸送機橫移組件(34)，所述輸送機升降組件(31)和輸送機橫移組件(34)均與第一框架(11)連接，所述第一輸送機(32)設置于輸送機升降組件(31)上部，所述第二輸送機(33)設置于輸送機橫移組件(34)上部，所述第一輸送機(32)和第二輸送機(33)為平行設置。

4.根據權利要求1所述的一種水平光伏擴散自動化設備，其特征在于，所述石英舟搬運機構(4)包括機器人(41)和搬運夾爪(42)，所述機器人(41)與第一框架(11)連接，所述搬運夾爪(42)設置于機器人(41)上。

5.根據權利要求1所述的一種水平光伏擴散自動化設備，其特征在于，所述石英舟周轉機構(5)包括周轉機構頂齒升降組件(51)、周轉機構定位平臺(52)、周轉機構規整組件(53)和石英舟移動組件(54)，所述周轉機構頂齒升降組件(51)與第二框架(21)連接，所述周轉機構定位平臺(52)設置于周轉機構頂齒升降組件(51)上部，所述石英舟移動組件(54)設置于周轉機構定位平臺(52)上部，所述周轉機構規整組件(53)呈倒U型與周轉機構定位平臺(52)連接。

6.根據權利要求1所述一種水平光伏擴散自動化設備，其特征在于，所述分合片機構(6)包括分合片機構支架(61)、分合片機構左右移動滑軌(62)、分合片機構升降組件(63)、分合片機構左右移動齒輪齒條(64)、分合片機構左右移動電機(65)和分合片夾爪(66)，所述分合片機構支架(61)與第二框架(21)連接，所述分合片機構左右移動滑軌(62)設置于分合片機構支架(61)上部，所述分合片機構升降組件(63)通過分合片機構左右移動齒輪齒條(64)與分合片機構左右移動滑軌(62)連接，所述分合片機構左右移動電機(65)與分合片機構左右移動齒輪齒條(64)連接，所述分合片夾爪(66)設置于分合片機構升降組件(63)下部，所述分合片機構升降組件(63)、分合片機構左右移動電機(65)和分合片夾爪(66)數量為2。

7.根據權利要求1所述一種水平光伏擴散自動化設備，其特征在于，所述裝卸料機構(8)包括裝卸料機構頂齒升降組件(81)、裝卸料機構定位平臺(82)、裝卸料機構規整組件(83)和花籃移動組件(84)，所述裝卸料機構頂齒升降組件(81)與第二框架(21)連接，所述裝卸料機構定位平臺(82)設置于裝卸料機構頂齒升降組件(81)上部，所述花籃移動組件(84)設置于裝卸料機構定位平臺(82)上部，所述裝卸料機構規整組件(83)呈倒U型與裝卸料機構定位平臺(82)連接。