[實用新型]一種深紫外波段復合靈敏度光譜儀

有效

• 申請號: 201922194998.4
• 申請日: 2019-12-09
• 公開（公告）號: CN211606906U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 閆亞東;吳冰靜;何俊華;曹宗英;許瑞華
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: H05H1/00
• 分類號: H05H1/00
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 鄭麗紅

1.一種深紫外波段復合靈敏度光譜儀，其特征在于：包括光譜分束鏡、離子譜反射鏡一、離子譜反射鏡二、離子譜準直拋物鏡、離子譜光柵、離子譜聚焦拋物鏡、離子譜像面反射鏡、離子譜成像橢球鏡、電子譜準直拋物鏡、電子譜光柵、電子譜聚焦拋物鏡、電子譜像面反射鏡和電子譜成像橢球鏡；

從光譜儀輸入端進入的待測信號經光譜分束鏡分為兩束，一路為透射光，另一路為反射光；

在透射光路中，光束經離子譜反射鏡一和離子譜反射鏡二反射，然后光束經離子譜準直拋物鏡準直后到達離子譜光柵，經光柵色散后的光束經離子譜聚焦拋物鏡聚焦于離子譜像面反射鏡，光束經離子譜像面反射鏡屏蔽雜光干擾后聚焦于離子譜成像橢球鏡，所述離子譜成像橢球鏡將色散后的信號聚焦成像于像面上；

在反射光路中，光束經過電子譜準直拋物鏡準直，然后經電子譜光柵衍射分光，經光柵色散后的光束由電子譜聚焦拋物鏡聚焦于電子譜像面反射鏡上；所述電子譜像面反射鏡將光束反射至電子譜成像橢球鏡，所述電子譜成像橢球鏡將色散后的信號聚焦成像于像面上。

2.根據權利要求1所述的深紫外波段復合靈敏度光譜儀，其特征在于：從光譜儀輸入端進入的待測信號經光譜分束鏡分為兩束，透射波段為200nm-220nm，反射波段為150nm-200nm。

3.根據權利要求2所述的深紫外波段復合靈敏度光譜儀，其特征在于：定義光譜儀輸入端為坐標零點，水平面為XZ平面，水平向右為Z正向，垂直于XZ平面向上的方向為Y正向；

所述光譜分束鏡與X軸的傾角為6°；所述離子譜反射鏡一與X軸的傾角為50°；所述離子譜反射鏡二與X軸的傾角為34°；所述離子譜準直拋物鏡與X軸的傾角為8.949°；所述離子譜光柵與X軸的傾角為4.5°；所述離子譜聚焦拋物鏡與X軸的傾角為8.808°；所述離子譜像面反射鏡與X軸的傾角為-11.679°，與Y軸的傾角為2°；所述離子譜成像橢球鏡與X軸的傾角為14.498°，與Y軸的傾角為-0.547°；所述電子譜準直拋物鏡與X軸的傾角為-9°；所述電子譜聚焦拋物鏡與X軸的傾角為-2.869°；所述電子譜像面反射鏡與X軸的傾角為3°，與Y軸的傾角為2°；所述電子譜成像橢球鏡與X軸的傾角為2.284°，與Y軸的傾角為-0.522°。

4.根據權利要求3所述的深紫外波段復合靈敏度光譜儀，其特征在于：所述離子譜準直拋物鏡沿Y軸的平移量為-157.65mm；所述離子譜聚焦拋物鏡沿Y軸的平移量為39.544mm；所述離子譜成像橢球鏡沿Y軸的平移量為-81.923mm；所述電子譜準直拋物鏡沿Y軸的平移量為-14.107mm；所述電子譜光柵沿Y軸的平移量為-48.569mm；所述電子譜聚焦拋物鏡的沿Y軸的平移量為21.984mm；所述電子譜成像橢球鏡的Y離軸量為-34.57mm。

5.根據權利要求1至4任一所述的深紫外波段復合靈敏度光譜儀，其特征在于：所述光譜儀輸入端和光譜分束鏡的間距為100㎜，所述光譜分束鏡和離子譜反射鏡一的間距為359㎜，所述離子譜反射鏡一和離子譜反射鏡二的間距為185㎜；所述離子譜反射鏡二和離子譜準直拋物鏡的間距為365㎜；所述離子譜準直拋物鏡和離子譜光柵的間距為480㎜；所述離子譜光柵與離子譜聚焦拋物鏡的間距為450㎜；所述離子譜聚焦拋物鏡與離子譜像面反射鏡的間距為480㎜；所述離子譜像面反射鏡與離子譜成像橢球鏡的間距為470㎜；所述離子譜成像橢球鏡與電子譜準直拋物鏡的間距為60㎜；所述電子譜準直拋物鏡與電子譜光柵的間距為570㎜；所述電子譜光柵與電子譜聚焦拋物鏡的間距為100㎜；所述電子譜聚焦拋物鏡與電子譜像面反射鏡的間距為111.5㎜，所述電子譜像面反射鏡與電子譜成像橢球鏡的間距為520㎜。

6.根據權利要求5所述的深紫外波段復合靈敏度光譜儀，其特征在于：所述離子譜準直拋物鏡的頂點半徑R為-2053.77㎜，所述離子譜聚焦拋物鏡的頂點半徑R為-957.12㎜，所述離子譜成像橢球鏡的頂點半徑R為-561.54㎜，圓錐系數為-0.04984，所述電子譜準直拋物鏡的頂點半徑R為322.78㎜，所述電子譜聚焦拋物鏡的頂點半徑R為220.0㎜，所述電子譜成像橢球鏡的頂點半徑R為598.74㎜，圓錐系數-0.02369。