[實用新型]一種曝光機的對準定位裝置

有效

• 申請號: 201922193100.1
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN211061851U
• 公開（公告）日: 2020-07-21
• 發明（設計）人: 王群;馮夢飛;孫行
• 申請（專利權）人: 江蘇九迪激光裝備科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

1.一種曝光機的對準定位裝置，其特征在于：包括曝光機本體(1)、伸縮機構(4)、縱向移動機構(5)、橫向移動機構(10)和定位條(6)；

曝光機本體(1)：曝光機本體(1)的左表面設有安裝板(3)；

伸縮機構(4)：伸縮機構(4)設置在安裝板(3)的上表面；

縱向移動機構(5)：縱向移動機構(5)安裝在伸縮機構(4)上；

橫向移動機構(10)：橫向移動機構(10)裝配在縱向移動機構(5)上，橫向移動機構(10)上設有放置板(9)，放置板(9)上開設有放置槽(8)；

定位條(6)：定位條(6)通過滑動機構(2)裝配在放置板(9)上，且與放置槽(8)的底面接觸，定位條(6)上設有安裝塊(7)，安裝塊(7)上設置有螺柱。

2.根據權利要求1所述的一種曝光機的對準定位裝置，其特征在于：所述滑動機構(2)包括滑槽(201)和滑塊(202)，滑塊(202)裝配在滑槽(201)中，滑塊(202)設置在定位條(6)上，滑槽(201)開設在放置板(9)上。

3.根據權利要求1所述的一種曝光機的對準定位裝置，其特征在于：所述伸縮機構(4)包括電動伸縮桿(401)和安裝條(402)，安裝條(402)裝配在電動伸縮桿(401)的伸縮端，電動伸縮桿(401)設置在安裝板(3)上，電動伸縮桿(401)的輸入端與外部控制器的輸出端電連接。

4.根據權利要求3所述的一種曝光機的對準定位裝置，其特征在于：所述縱向移動機構(5)包括第一直線電機(501)和第一導軌(502)，第一直線電機(501)裝配在第一導軌(502)上，第一導軌(502)設置在安裝板(3)上，第一直線電機(501)的輸入端與外部控制器的輸出端電連接。

5.根據權利要求4所述的一種曝光機的對準定位裝置，其特征在于：所述橫向移動機構(10)包括第二導軌(1001)和第二直線電機(1002)，第二直線電機(1002)裝配在第二導軌(1001)上，第二導軌(1001)設置在第一直線電機(501)的左右表面，放置板(9)設置在第二直線電機(1002)上，第二直線電機(1002)的輸入端與外部控制器的輸出端電連接。