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[實用新型]一種硅片承載花籃有效

專利信息
申請號: 201922187872.4 申請日: 2019-12-09
公開(公告)號: CN210692503U 公開(公告)日: 2020-06-05
發明(設計)人: 張偉;顧媛媛;薛彥斌 申請(專利權)人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
主分類號: H01L21/673 分類號: H01L21/673
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 215129 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 硅片 承載 花籃
【權利要求書】:

1.一種硅片承載花籃,其特征在于,包括:

端板(1),所述端板(1)為兩個,兩個所述端板(1)間隔設置,兩個所述端板(1)能夠分別與金屬花籃(100)的兩個端面板對接;

支撐組件,所述支撐組件為兩個,兩個所述支撐組件間隔設置,每個所述支撐組件均包括兩個間隔設置的支撐桿(2),每個所述支撐桿(2)上均設有用于卡接硅片的多個卡接槽(21),每個所述支撐桿(2)的兩端分別與兩個所述端板(1)相連,兩個所述支撐組件分別用于支撐所述硅片的相對設置的兩個側邊;

插槽板(3),所述插槽板(3)為兩個,每個所述插槽板(3)對應一個所述支撐組件設置且位于所述支撐組件的兩個所述支撐桿(2)之間,每個所述插槽板(3)上設有多個連通卡槽(31),每個所述連通卡槽(31)能夠將兩個所述支撐桿(2)上的對應的兩個卡接槽(21)連通,所述插槽板(3)的兩端與所述端板(1)可拆卸連接。

2.根據權利要求1所述的硅片承載花籃,其特征在于,每個所述端板(1)的朝向彼此的端面上設有配合凸起(121),每個所述插槽板(3)的兩端分別設有與所述配合凸起(121)配合的配合凹槽(32)。

3.根據權利要求2所述的硅片承載花籃,其特征在于,所述配合凸起(121)為間隔設置的多個。

4.根據權利要求2所述的硅片承載花籃,其特征在于,其中一個所述端板(1)上的所述配合凸起(121)的橫截面積在靠近另一個所述端板(1)的方向上逐漸增大。

5.根據權利要求1所述的硅片承載花籃,其特征在于,每個所述端板(1)的相對設置的兩個側壁上設有插接凹槽(122),所述插槽板(3)的兩端設有與所述插接凹槽(122)配合的插接凸起(33)。

6.根據權利要求5所述的硅片承載花籃,其特征在于,每個所述端板(1)的一個側壁上的所述插接凹槽(122)為間隔設置的多個。

7.根據權利要求5所述的硅片承載花籃,其特征在于,所述插接凹槽(122)的寬度在遠離所述端板(1)的側壁的方向上逐漸減小。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的硅片承載花籃,其特征在于,每個所述端板(1)形成為U型,所述端板(1)的敞開端設有對接凸起,所述金屬花籃(100)的所述端面板上設有與所述對接凸起配合的對接凹槽。

9.根據權利要求1-7中任一項所述的硅片承載花籃,其特征在于,每個所述端板(1)形成為U型板,所述U型板包括一個橫部(11)和兩個縱部(12),兩個所述支撐組件分別設在兩個所述縱部(12)上,所述硅片承載花籃還包括支撐柱(4),所述支撐柱(4)為多個,每個所述支撐柱(4)的兩端分別與兩個所述端板(1)的兩個所述橫部(11)上。

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