[實用新型]一種長條高真空陰極電弧靶裝置

有效

• 申請號: 201922187835.3
• 申請日: 2019-12-09
• 公開（公告）號: CN211814630U
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 廖斌;華青松;何光宇;歐陽曉平;羅軍;陳琳;張旭;吳先映;龐盼;韓然;英敏菊
• 申請（專利權）人: 北京師范大學;穩力（廣東）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 曹鵬飛

1.一種長條高真空陰極電弧靶裝置，真空室用于安裝長條高真空陰極電弧靶裝置，其特征在于，包括：主支撐架、陰極靶材、屏蔽電極、第一屏蔽環、永磁體、觸發電極和旋轉部件；所述主支撐架上安裝所述旋轉部件；所述旋轉部件與所述陰極靶材固定連接，并進行旋轉動作；所述真空室作為陽極，所述陽極與所述主支撐架連接；所述第一屏蔽環固定在所述陽極上，屏蔽所述陰極靶材和真空室；所述屏蔽電極包裹所述陰極靶材，并且所述陰極靶材的內部設置有永磁體；所述觸發電極安裝在所述屏蔽電極上，并且所述觸發電極與觸發電源電性連接。

2.根據權利要求1所述的一種長條高真空陰極電弧靶裝置，其特征在于，所述旋轉部件包括：電機、主動動齒輪、第一從動輪和旋轉軸；所述第一從動輪安裝在所述旋轉軸上，所述電機的輸出軸上安裝所述主動動齒輪，并且所述主動動齒輪和所述第一從動輪相嚙合；所述旋轉軸與所述陰極靶材固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種長條高真空陰極電弧靶裝置，其特征在于，所述屏蔽電極包括第一屏蔽電極、第二屏蔽電極和第三屏蔽電極；所述第一屏蔽電極連接限流電阻并接地，所述第二屏蔽電極和第三屏蔽電極屏蔽所述第一屏蔽電極和所述陽極。

4.根據權利要求1所述的一種長條高真空陰極電弧靶裝置，其特征在于，還包括聚四氟屏蔽環、聚合物屏蔽極；所述聚四氟屏蔽環設置在所述主支撐架和所述聚合物屏蔽極之間；所述聚合物屏蔽極屏蔽所述陽極與所述陰極靶材。

5.根據權利要求1所述的一種長條高真空陰極電弧靶裝置，其特征在于，所述陰極靶材末端安裝有聚四氟屏蔽底座，所述聚四氟屏蔽底座上安裝有第二從動齒輪，所述第二從動齒輪與所述陰極靶材配合。

6.根據權利要求1所述的一種長條高真空陰極電弧靶裝置，其特征在于，所述觸發電極與限流電阻連接并接地。

7.根據權利要求1所述的一種長條高真空陰極電弧靶裝置，其特征在于，在所述觸發電源的控制下所述觸發電極接觸陰極靶材引弧，陰極弧斑放電。

8.根據權利要求7所述的一種長條高真空陰極電弧靶裝置，其特征在于，陰極弧斑在所述永磁體的作用下發生周期性的運動，圍繞所述陰極靶材外長軸方向圓周運動。

9.根據權利要求1-8任一項所述的一種長條高真空陰極電弧靶裝置，其特征在于，還包括冷卻管道；所述冷卻管道貫穿所述陰極靶材，內部通入冷卻液。